[發(fā)明專利]多發(fā)光單元半導體激光器近場非線性自動測試方法及裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510313232.7
• 申請日: 2015-06-09
• 公開（公告）號: CN104897372B
• 公開（公告）日: 2018-05-25
• 發(fā)明（設計）人: 劉興勝;王昊;劉暉;孫翔;沈澤南;吳迪
• 申請（專利權）人: 西安炬光科技股份有限公司
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.多發(fā)光單元半導體激光器近場非線性自動化測試方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟一：待測多發(fā)光單元半導體激光器發(fā)出的光束入射至快軸準直鏡，出射光經分光裝置分光，分成光束B和參考光束A，參考光束A在空氣中自由傳播并入射至圖像傳感器M，光束B入射至成像系統(tǒng)后再入射至圖像傳感器N；

步驟二：建立三維直角坐標系，以快軸準直鏡光心為原點O，沿光束傳輸方向為Z軸正方向，半導體激光器快軸方向為Y軸，半導體激光器慢軸方向為X軸，沿Z軸平移調節(jié)快軸準直鏡或者沿Y軸平移調節(jié)快軸準直鏡或者以Z軸為旋轉軸旋轉調節(jié)快軸準直鏡或者以Y軸為旋轉軸旋轉調節(jié)快軸準直鏡或者以X軸為旋轉軸旋轉調節(jié)快軸準直鏡，直至參考光束A在圖像傳感器M上的光斑長度、寬度、傾斜度最小，此時參考光束A在圖像傳感器N上的圖樣，記錄為S1，此時光束B經過成像系統(tǒng)后入射至圖像傳感器N上的圖樣，記錄為S2；

步驟三：沿X軸方向平移調節(jié)快軸準直鏡，采集光束B經過成像系統(tǒng)后入射至圖像傳感器N上的圖樣，記錄為S3；

步驟四：對比S2和S3，重復步驟二和步驟三直到S2和S3相同，記錄S3為多發(fā)光單元半導體激光器近場非線性圖樣。

2.根據(jù)權利要求1所述的多發(fā)光單元半導體激光器近場非線性自動化測試方法，其特征在于：所述的步驟一中，圖像傳感器M為電荷耦合器件或者互補性金屬氧化物半導體傳感器；圖像傳感器N為電荷耦合器件或者互補性金屬氧化物半導體傳感器。

3.根據(jù)權利要求1所述的多發(fā)光單元半導體激光器近場非線性自動化測試方法，其特征在于：所述的步驟一中的分光裝置為分光鏡。

4.多發(fā)光單元半導體激光器近場非線性自動化測試裝置，其特征在于：包括多發(fā)光單元半導體激光器，快軸準直鏡，分光鏡，成像系統(tǒng)，圖像傳感器M，圖像傳感器N，工控機，自動調節(jié)架；所述的快軸準直鏡固定在自動調節(jié)架上并設置在多發(fā)光單元半導體激光器的出光方向；所述的分光鏡設置在快軸準直鏡的后端，將多發(fā)光單元半導體激光器經快軸準直鏡準直后的光束進行分光，形成光束B和參考光束A；所述的圖像傳感器M與工控機進行連接并設置在參考光束A出射方向用于采集參考光束A的圖樣；所述的成像系統(tǒng)設置在光束B的出射方向用于對光束B 進行成像，圖像傳感器N與工控機進行連接并設置在成像系統(tǒng)后端用于采集光束B的圖樣；所述的工控機用于控制圖像傳感器M，圖像傳感器N并控制自動調節(jié)架。

5.根據(jù)權利要求4所述的多發(fā)光單元半導體激光器近場非線性自動化測試裝置，其特征在于：所述的圖像傳感器M為電荷耦合器件或者互補性金屬氧化物半導體傳感器；所述的圖像傳感器N為電荷耦合器件或者互補性金屬氧化物半導體傳感器。

6.根據(jù)權利要求4所述的多發(fā)光單元半導體激光器近場非線性自動化測試裝置，其特征在于:還包括反射鏡 ，所述的反射鏡設置在參考光束A的出射方向用于將參考光束A的發(fā)射光方向旋轉90度后入射至圖像傳感器M；或者所述的反射鏡設置在光束B的出射方向的發(fā)射光方向旋轉90度后入射至成像系統(tǒng)。