[發明專利]動態特性可調宏微一體化復合平臺

在審

• 申請號: 201510312682.4
• 申請日: 2015-06-08
• 公開（公告）號: CN104889951A
• 公開（公告）日: 2015-09-09
• 發明（設計）人: 楊志軍;白有盾;陳新;高健;陳新度;賀云波;陳云;李瑞奇;陳超然
• 申請（專利權）人: 廣東工業大學
• 主分類號: B25H1/02
• 分類號: B25H1/02;B23Q1/25
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 張海英;林波

1.動態特性可調宏微一體化復合平臺，其特征在于：包括基座、宏動外框架和微動平臺；

所述宏動外框架與所述微動平臺形成一體化平臺，所述微動平臺設置在所述宏動外框架的框架內部，所述微動平臺包括用于放置工件的核心平臺、用于支撐和位移輸出的彈片組、用于抗共振的可變阻尼器和用于所述檢測所述核心平臺微位移的位移傳感器，所述核心平臺通過所述彈片組連接于所述宏動外框架；所述位移傳感器設置于所述核心平臺上，其位移測量方向與所述核心平臺的進給方向一致，所述可變阻尼器設置于所述宏動平臺外框架和所述微動平臺之間，并分別與所述宏運動外框架及所述微動平臺相連接；

所述基座上設置有導軌、滑塊和U型直線電機，所述滑塊可滑動于所述導軌，所述U型直線電機包括定子、宏動外框架動子、微動平臺動子和連接件，宏運動和微運動共用同一個所述定子；

所述宏動外框架固定安裝于所述滑塊，并通過所述連接件連接于所述宏動外框架動子，由所述宏動外框架動子、所述微動平臺動子和所述定子控制其滑動于所述導軌實現宏運動；

所述核心平臺通過所述連接件固定于所述微動平臺動子，并由所述微動平臺動子控制其在所述定子的微運動。

2.根據權利要求1所述的動態特性可調宏微一體化復合平臺，其特征在于：所述可變阻尼器為擠壓型阻尼器或電/磁流變阻尼器。

3.根據權利要求1所述的動態特性可調宏微一體化復合平臺，其特征在于：所述可變阻尼器為剪切型阻尼器。

4.根據權利要求1所述的動態特性可調宏微一體化復合平臺，其特征在于：所述彈片組、所述核心平臺和所述宏動外框架為一體式結構。

5.根據權利要求1所述的動態特性可調宏微一體化復合平臺，其特征在于：所述核心平臺的兩側通過所述彈片組與所述宏動外框架內壁連接，所述彈片組為平行布置，且所述彈片的長度方向垂直于所述核心平臺的運動方向。

6.根據權利要求5所述的動態特性可調宏微一體化復合平臺，其特征在于：所述宏動外框架與所述彈片組連接處設有槽，使所述宏動外框架內側形成較薄的可變形的彈性件，所述宏動外框架設有調節所述彈性件變形度的所述頻率調節機構。

7.根據權利要求6所述的動態特性可調宏微一體化復合平臺，其特征在于：所述頻率調節機構為穿過所述槽的螺栓，其兩端分別連接于所述槽的兩側。

8.根據權利要求6所述的動態特性可調宏微一體化復合平臺，其特征在于：所述頻率調節機構包括穿過所述槽的連接桿和用于調節預緊力動態的壓電陶瓷驅動器，所述壓電陶瓷驅動器的直線運動方向為所述彈片組的預變形方向。

9.根據權利要求1所述的動態特性可調宏微一體化復合平臺，其特征在于：所述位移傳感器為差動電容傳感器或光電傳感器。