[發明專利]半導體結構及其制作方法有效
| 申請號: | 201510311627.3 | 申請日: | 2015-06-09 |
| 公開(公告)號: | CN106252391B | 公開(公告)日: | 2021-02-19 |
| 發明(設計)人: | 馮立偉;蔡世鴻;劉鴻輝;林昭宏;黃南元;鄭志祥 | 申請(專利權)人: | 聯華電子股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L29/10 | 分類號: | H01L29/10;H01L29/78;H01L29/66 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律師事務所 11105 | 代理人: | 陳小雯 |
| 地址: | 中國臺灣*** | 國省代碼: | 臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 半導體 結構 及其 制作方法 | ||
【說明書】:
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