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[發明專利]半導體結構及其制作方法有效

專利信息
申請號: 201510311627.3 申請日: 2015-06-09
公開(公告)號: CN106252391B 公開(公告)日: 2021-02-19
發明(設計)人: 馮立偉;蔡世鴻;劉鴻輝;林昭宏;黃南元;鄭志祥 申請(專利權)人: 聯華電子股份有限公司
主分類號: H01L29/10 分類號: H01L29/10;H01L29/78;H01L29/66
代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105 代理人: 陳小雯
地址: 中國臺灣*** 國省代碼: 臺灣;71
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 半導體 結構 及其 制作方法
【說明書】:
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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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