[發(fā)明專(zhuān)利]一種氬氣凈化工藝

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510307866.1
• 申請(qǐng)日: 2015-06-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104925769A
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-09-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 覃哲貴
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 柳州市山泰氣體有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C01B23/00
• 分類(lèi)號(hào): C01B23/00
• 代理公司: 北京中恒高博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11249
• 代理人: 高玉濱

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種氬氣凈化工藝，屬于氣體技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

前氬氣高純度凈化一般采用大批量提純的設(shè)備，產(chǎn)品氣分裝后再供不同生產(chǎn)部門(mén)使用，由于現(xiàn)有提純?cè)O(shè)備難以實(shí)現(xiàn)一次性將氬氣提純凈化到99.9999%的目標(biāo)，而且不能在生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)根據(jù)實(shí)際使用情況對(duì)低純度氬氣進(jìn)行凈化處理，所以現(xiàn)有大批量提純?cè)O(shè)備不能滿(mǎn)足生產(chǎn)、科研等部門(mén)的實(shí)際應(yīng)用需求。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種氬氣凈化工藝，能夠克服以上所述缺陷。

為解決以上技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種氬氣凈化工藝，凈化工藝所涉及的設(shè)備包括氬氣凈化系統(tǒng)和脫氧劑再生系統(tǒng)，凈化的順序由氬氣凈化系統(tǒng)至脫氧劑再生系統(tǒng)，再經(jīng)過(guò)氬氣凈化系統(tǒng)和脫氧劑再生系統(tǒng)，依次類(lèi)推，多次循環(huán)后，由氬氣凈化系統(tǒng)管路末端收集口收集氬氣。

進(jìn)一步地，所述氬氣凈化系統(tǒng)包括通過(guò)管路連接的原料氣過(guò)濾器、一級(jí)凈化柱、二級(jí)凈化柱、氬氣風(fēng)冷冷卻器、氬氣水冷冷卻器和產(chǎn)品氣過(guò)濾器，所述原料氣過(guò)濾器安裝在原料氣氣源與一級(jí)凈化柱之間的管路上，所述一級(jí)凈化柱出氣口與二級(jí)凈化柱進(jìn)氣口連接，在二級(jí)凈化柱出口處并聯(lián)氬氣風(fēng)冷冷卻器和氬氣水冷冷卻器。

本發(fā)明涉及的這種氬氣凈化工藝，凈化效果好。

具體實(shí)施方式

實(shí)施例1

一種氬氣凈化工藝，凈化工藝所涉及的設(shè)備包括氬氣凈化系統(tǒng)和脫氧劑再生系統(tǒng)，凈化的順序由氬氣凈化系統(tǒng)至脫氧劑再生系統(tǒng)，再經(jīng)過(guò)氬氣凈化系統(tǒng)和脫氧劑再生系統(tǒng)，依次類(lèi)推，多次循環(huán)后，由氬氣凈化系統(tǒng)管路末端收集口收集氬氣。

進(jìn)一步地，所述氬氣凈化系統(tǒng)包括通過(guò)管路連接的原料氣過(guò)濾器、一級(jí)凈化柱、二級(jí)凈化柱、氬氣風(fēng)冷冷卻器、氬氣水冷冷卻器和產(chǎn)品氣過(guò)濾器，所述原料氣過(guò)濾器安裝在原料氣氣源與一級(jí)凈化柱之間的管路上，所述一級(jí)凈化柱出氣口與二級(jí)凈化柱進(jìn)氣口連接，在二級(jí)凈化柱出口處并聯(lián)氬氣風(fēng)冷冷卻器和氬氣水冷冷卻器。

本發(fā)明涉及的這種氬氣凈化工藝，凈化效果好。

本發(fā)明所述的具體實(shí)施方式并不構(gòu)成對(duì)本申請(qǐng)范圍的限制，凡是在本發(fā)明構(gòu)思的精神和原則之內(nèi)，本領(lǐng)域的專(zhuān)業(yè)人員能夠作出的任何修改、等同替換和改進(jìn)等均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。