[發(fā)明專利]多噴燈的疏松體光纖預制棒OVD沉積制備裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510301381.1
• 申請日: 2015-06-05
• 公開（公告）號: CN104843988B
• 公開（公告）日: 2017-08-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王正江;施國棋;周震華;江鋒;馮術(shù)娟;俞海華;周兆龍;馬躍豐;趙一平
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇法爾勝光子有限公司;法爾勝泓昇集團有限公司
• 主分類號: C03B37/018
• 分類號: C03B37/018
• 代理公司: 無錫大揚專利事務(wù)所(普通合伙)32248
• 代理人: 何軍

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種疏松體光纖預制棒制備裝置，尤其涉及一種多噴燈的光纖預制棒OVD沉積制備裝置。

背景技術(shù)

OVD工藝是光纖預制棒制備中的一種工藝方法，即外汽像化學沉積工藝：Outside Vapor Deposition。該方法的主要原理是通過噴燈在靶棒外部噴上高純汽像原料（通常為四氯化硅蒸發(fā)原料），該原料在高溫下與O₂和水汽發(fā)生化學反應(yīng)，生成SiO₂細微顆粒，通過熱泳效應(yīng)沉積在靶棒上。噴燈與靶棒之間進行相對運動，從而使得SiO₂細微顆粒逐層沉積在靶棒上直至達到設(shè)計重量，得到光纖預制棒的中間產(chǎn)品：疏松體光纖預制棒（Soot Prefrom）。

當前的疏松體光纖預制棒OVD沉積制備裝置，包括沉積箱體、光纖預制棒沉積支架、噴燈、送風箱和抽風管，光纖預制棒沉積支架設(shè)置在沉積箱體內(nèi)，兩個或三個噴燈等距排列在光纖預制棒沉積支架下方，在送風箱的側(cè)方設(shè)有進風孔，送風箱設(shè)置在沉積箱體下方，在光纖預制棒沉積支架下方的沉積箱體上設(shè)有一進風圓孔與送風箱連通，在光纖預制棒沉積支架上方的沉積箱體與抽風管連通；設(shè)備通過噴燈向放置在光纖預制棒沉積支架上的靶棒沉積高純SiO2顆粒體，現(xiàn)有的疏松體光纖預制棒OVD沉積制備裝置都是采用雙噴燈或三噴燈，該種設(shè)備的沉積速率和效率均不高。

發(fā)明內(nèi)容

針對上述缺點，本發(fā)明的目的在于提供一種沉積速率和效率高的多噴燈的疏松體光纖預制棒OVD沉積制備裝置。

本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容為：多噴燈的疏松體光纖預制棒OVD沉積制備裝置，包括沉積箱體、光纖預制棒沉積支架、噴燈、送風箱和抽風管；在送風箱的側(cè)邊設(shè)有送風孔；送風箱設(shè)置在沉積箱體下方，光纖預制棒沉積支架設(shè)置在沉積箱體內(nèi)；其特征為它還包括抽風箱體、過濾網(wǎng)和抽風散流層流板；5～15個噴燈排列設(shè)置在光纖預制棒沉積支架上；在抽風散流層流板上設(shè)有若干通風孔；在光纖預制棒沉積支架下方的沉積箱體上設(shè)有一與送風箱連通的長方形進風孔；抽風箱體設(shè)置在沉積箱體上方，在光纖預制棒沉積支架上方的沉積箱體上設(shè)有一與抽風箱連通的長方形抽風孔；抽風散流層流板設(shè)置在抽風箱體內(nèi)，抽風箱體上方與抽風管連通；在送風孔和進風孔處設(shè)有過濾網(wǎng)。

通過研究發(fā)現(xiàn)，為提高疏松體光纖預制棒沉積速率和效率，就是大量增加噴燈數(shù)量，但是由于原先的沉積箱體的進風孔和抽風孔均為圓形孔，其在對沉積箱體內(nèi)進行抽風時，在光纖預制棒沉積支架上方對應(yīng)于進風孔和抽風孔的中心位置風速快，而當離進風孔和抽風孔的中心距離逐漸增大的位置，風速逐漸下降，在沉積箱體內(nèi)無法形成均勻負壓，也不能使沉積箱體內(nèi)得風速均勻，由此使得多噴燈制備的疏松體光纖預制棒的直徑的均勻性差，內(nèi)部晶格結(jié)構(gòu)的單一性無法保證，產(chǎn)品也因此就報廢；而本發(fā)明通過在沉積箱體的上、下端分別設(shè)置一與光纖預制棒沉積支架平行的長方形進風孔和抽風孔，并在沉積箱體的上方連接有一抽風箱，在抽風箱內(nèi)設(shè)置一抽風散流層流板，由此可以使得整個抽風箱內(nèi)形成均勻負壓，使在光纖預制棒沉積支架上方對應(yīng)得長方形抽風孔處的形成層流，從而使在整個光纖預制棒沉積支架上的光纖預制棒上通過的風速均勻，從而在整個沉積箱體內(nèi)，風速均勻，可使多噴燈制備的疏松體光纖預制棒的直徑的均勻性好，能保證產(chǎn)品內(nèi)部晶格結(jié)構(gòu)的單一性。

本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比所具有的優(yōu)點是：本發(fā)明通過多噴燈來提高疏松體光纖預制棒制備沉積速率和效率高，并能使疏松體光纖預制棒的直徑的均勻性好，能保證產(chǎn)品內(nèi)部晶格結(jié)構(gòu)的單一性。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為圖1中A-A向示意圖。

具體實施方式

下面結(jié)合實施例及其附圖進一步敘述本發(fā)明。

如圖1和圖2所示，多噴燈的疏松體光纖預制棒OVD沉積制備裝置，包括沉積箱體1、光纖預制棒沉積支架2、噴燈3、送風箱4和抽風管5；在送風箱4的側(cè)邊設(shè)有送風孔4.1；送風箱4設(shè)置在沉積箱體1下方，光纖預制棒沉積支架2設(shè)置在沉積箱1體內(nèi)；其特征為它還包括抽風箱體6、過濾網(wǎng)7和抽風散流層流板8；5～15個噴燈3等距排列設(shè)置在光纖預制棒沉積支架2上；在抽風散流層流板8上設(shè)有若干等距的通風孔8.1；在光纖預制棒沉積支架2正下方的沉積箱體1上設(shè)有一與光纖預制棒沉積支架2平行且與送風箱4連通的長方形進風孔1.1；抽風箱體6設(shè)置在沉積箱體1上方，在光纖預制棒沉積支架2正上方的沉積箱體1上設(shè)有一與光纖預制棒沉積支架2平行且與抽風箱6連通的長方形抽風孔1.2；抽風散流層流板8設(shè)置在抽風箱體6內(nèi)，抽風箱體6上方與抽風管5連通；在送風孔4.1和進風孔1.1處設(shè)有過濾網(wǎng)7。