[發(fā)明專利]一種氧化亞銅基異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池及其制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510295043.1
• 申請(qǐng)日: 2015-06-02
• 公開（公告）號(hào): CN104993004B
• 公開（公告）日: 2017-04-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱麗萍;牛文哲
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江大學(xué)
• 主分類號(hào): H01L31/072
• 分類號(hào): H01L31/072;H01L31/0336;H01L31/18
• 代理公司: 杭州求是專利事務(wù)所有限公司33200
• 代理人: 韓介梅

1.一種氧化亞銅基異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池，其特征在于，在襯底(1)上自下而上依次有鉻金復(fù)合電極?(2)、氧化亞銅層(3)、ZnO:S緩沖層(4)、ZnO:Al層(5)和鋁柵電極(6)，所述的ZnO:S緩沖層(4)厚度為10nm，硫的原子百分比為9%，所述的ZnO:Al層(5)載流子濃度大于10²¹cm^-3，方塊電阻小于50Ω/□。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氧化亞銅基異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池，其特征在于，所述的鉻金復(fù)合電極(2)中鉻層厚度為8nm,?金層厚度為100～120nm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氧化亞銅基異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池，其特征在于，所述的氧化亞銅層(3)的厚度為2.5μm±100nm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氧化亞銅基異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池，其特征在于，所述的鋁柵電極(6)的厚度為1μm，其柵間距為0.5㎜。

5.制備如權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的氧化亞銅基異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池的方法，其特征在于，包括如下步驟：

1）在潔凈的襯底(1)上依次蒸鍍鉻、金制備鉻金復(fù)合電極(2)；

2）在上述鉻金復(fù)合電極(2)表面采用電化學(xué)沉積法生長(zhǎng)氧化亞銅層(3)，并在鉻金復(fù)合電極(2)表面預(yù)留用于電池測(cè)試的面積；

3）在上述氧化亞銅層(3)表面依次沉積生長(zhǎng)ZnO:S緩沖層(4)和?ZnO:Al層(5)；

4）在ZnO:Al層(5)表面制作鋁柵電極(6)，獲得氧化亞銅基異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池。