[發(fā)明專利]一種石墨烯-氮化硼異質(zhì)結(jié)的制備方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510292023.9
• 申請(qǐng)日: 2015-06-01
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104944417A
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-09-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳吉;盧光遠(yuǎn);吳天如;王慧山;張學(xué)富;王浩敏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
• 主分類號(hào): C01B31/04
• 分類號(hào): C01B31/04;C01B21/064
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所 31219
• 代理人: 余明偉

1.一種石墨烯-氮化硼異質(zhì)結(jié)的制備方法，其特征在于，所述石墨烯-氮化硼異質(zhì)結(jié)的制備方法包括以下步驟：

S1：在熱釋放膠帶上粘附石墨烯；

S2：將所述熱釋放膠帶表面粘附有所述石墨烯的一面貼合到氮化硼上；

S3：加熱使所述熱釋放膠帶失去粘性，然后揭去所述熱釋放膠帶，得到石墨烯-氮化硼異質(zhì)結(jié)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨烯-氮化硼異質(zhì)結(jié)的制備方法，其特征在于，所述石墨烯-氮化硼異質(zhì)結(jié)的制備方法包括以下步驟：

S1：在熱釋放膠帶上粘附石墨烯；

S2：提供表面形成有氮化硼的第一襯底，將所述熱釋放膠帶表面粘附有所述石墨烯的一面貼合到所述氮化硼上，形成熱釋放膠帶-石墨烯-氮化硼-第一襯底結(jié)構(gòu)；然后將熱釋放膠帶-石墨烯-氮化硼結(jié)構(gòu)從所述第一襯底上剝離，并覆蓋到目標(biāo)襯底上；

S3：加熱使所述熱釋放膠帶失去粘性，然后揭去所述熱釋放膠帶，得到位于所述目標(biāo)襯底上的石墨烯-氮化硼異質(zhì)結(jié)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的石墨烯-氮化硼異質(zhì)結(jié)的制備方法，其特征在于：于所述步驟S2中，通過(guò)化學(xué)氣相沉積法在所述第一襯底上生長(zhǎng)得到所述氮化硼。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的石墨烯-氮化硼異質(zhì)結(jié)的制備方法，其特征在于：所述第一襯底包括Cu、Ni或Pt。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨烯-氮化硼異質(zhì)結(jié)的制備方法，其特征在于，所述石墨烯-氮化硼異質(zhì)結(jié)的制備方法包括以下步驟：

S1：在熱釋放膠帶上粘附石墨烯；

S2：在另一熱釋放膠帶上粘附氮化硼；

將所述熱釋放膠帶粘附有所述氮化硼的一面貼合到目標(biāo)襯底上；

加熱使所述氮化硼上的熱釋放膠帶失去粘性，然后揭去所述氮化硼上的熱釋放膠帶，形成氮化硼-目標(biāo)襯底結(jié)構(gòu)；

將粘附有所述石墨烯的熱釋放膠帶覆蓋到所述氮化硼表面，得到熱釋放膠帶-石墨烯-氮化硼-目標(biāo)襯底結(jié)構(gòu)；

S3：加熱使所述熱釋放膠帶-石墨烯-氮化硼-目標(biāo)襯底結(jié)構(gòu)中的熱釋放膠帶失去粘性，然后揭去所述熱釋放膠帶，得到位于所述目標(biāo)襯底上的石墨烯-氮化硼異質(zhì)結(jié)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的石墨烯-氮化硼異質(zhì)結(jié)的制備方法，其特征在于：于所述步驟S2中，在另一熱釋放膠帶上粘附氮化硼的方法為機(jī)械剝離法。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的石墨烯-氮化硼異質(zhì)結(jié)的制備方法，其特征在于：通過(guò)機(jī)械剝離法在另一熱釋放膠帶上粘附氮化硼薄膜包括以下步驟：將氮化硼粉體粘貼在熱釋放膠帶上，多次對(duì)折熱釋放膠帶，層層剝離氮化硼粉體，直至熱釋放膠帶上留下預(yù)設(shè)層數(shù)的氮化硼。

8.根據(jù)權(quán)利要求2～7任意一項(xiàng)所述的石墨烯-氮化硼異質(zhì)結(jié)的制備方法，其特征在于：所述目標(biāo)襯底包括石英、藍(lán)寶石或柔性襯底。

9.根據(jù)權(quán)利要求1～7任意一項(xiàng)所述的石墨烯-氮化硼異質(zhì)結(jié)的制備方法，其特征在于：于所述步驟S1中，在熱釋放膠帶上粘附石墨烯包括以下步驟：

提供第二襯底，通過(guò)化學(xué)氣相沉積法在所述第二襯底上生長(zhǎng)石墨烯；

將所述熱釋放膠帶貼合于所述石墨烯表面，形成熱釋放膠帶-石墨烯-第二襯底結(jié)構(gòu)；

將熱釋放膠帶-石墨烯結(jié)構(gòu)從所述第二襯底上剝離。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的石墨烯-氮化硼異質(zhì)結(jié)的制備方法，其特征在于：所述第二襯底包括Cu、Ni或Pt。

11.根據(jù)權(quán)利要求1～7任意一項(xiàng)所述的石墨烯-氮化硼異質(zhì)結(jié)的制備方法，其特征在于：于所述步驟S1中，在熱釋放膠帶上粘附石墨烯的方法為機(jī)械剝離法。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的石墨烯-氮化硼異質(zhì)結(jié)的制備方法，其特征在于，通過(guò)機(jī)械剝離法在熱釋放膠帶上粘附石墨烯包括以下步驟：將石墨烯粉體粘貼在熱釋放膠帶上，多次對(duì)折熱釋放膠帶，層層剝離石墨烯粉體，直至熱釋放膠帶上留下預(yù)設(shè)層數(shù)的石墨烯。

13.根據(jù)權(quán)利要求1～7任意一項(xiàng)所述的石墨烯-氮化硼異質(zhì)結(jié)的制備方法，其特征在于：加熱使所述熱釋放膠帶失去粘性的溫度范圍是80～200℃，加熱時(shí)間為2～30min。

14.根據(jù)權(quán)利要求1～7任意一項(xiàng)所述的石墨烯-氮化硼異質(zhì)結(jié)的制備方法，其特征在于：于所述步驟S3之后，進(jìn)一步對(duì)所述石墨烯-氮化硼異質(zhì)結(jié)進(jìn)行退火處理，以去除所述石墨烯-氮化硼異質(zhì)結(jié)表面的污染物。