[發明專利]一種三自由度大行程柔性納米定位平臺

有效

• 申請號: 201510287783.0
• 申請日: 2015-05-29
• 公開（公告）號: CN104896268A
• 公開（公告）日: 2015-09-09
• 發明（設計）人: 閆鵬;張立龍;劉鵬博
• 申請（專利權）人: 山東大學
• 主分類號: F16M11/12
• 分類號: F16M11/12;F16M11/18
• 代理公司: 濟南圣達知識產權代理有限公司 37221
• 代理人: 張勇

1.一種三自由度大行程柔性納米定位平臺，其特征是，包括固定底座，所述固定底座上設置有運動平臺，運動平臺總體呈旋轉布局結構，所述運動平臺包括基座，基座的中部設置有終端平臺，所述運動平臺還包括第一X向柔性解耦件、第二X向柔性解耦件、第三X向柔性解耦件、第四X向柔性解耦件、第一Y向柔性解耦件、第二Y向柔性解耦件、第三Y向柔性解耦件及第四Y向柔性解耦件；

所述第一X向柔性解耦件與第三X向柔性解耦件相對于運動平臺中心對稱；所述第二X向柔性解耦件與第四X向柔性解耦件相對于運動平臺中心對稱；所述第一Y向柔性解耦件與第三Y向柔性解耦件相對于運動平臺中心對稱，所述第二Y向柔性解耦件與第四Y向柔性解耦件相對于運動平臺中心對稱；

第二X向柔性解耦件、第四X向柔性解耦件、第一Y向柔性解耦件及第三Y向柔性解耦件中分別內置有對應的X向驅動器X1、X向驅動器X2、Y向驅動器Y1及Y向驅動器Y2。

2.如權利要求1所述的一種三自由度大行程柔性納米定位平臺，其特征是，所述固定底座包括呈中心對稱分布固定底座第一連接部、固定底座第二連接部、固定底座第三連接部及固定底座第四連接部；

所述基座包括基座本體，基座本體上設置有呈中心對稱分布的基座第一連接部、基座第二連接部、基座第三連接部及基座第四連接部；

所述終端平臺包括終端平臺本體，終端平臺本體上設置有呈中心對稱分布的終端平臺第一連接部、終端平臺第二連接部、終端平臺第三連接部及終端平臺第四連接部。四個連接部為與為與終端平臺相連的四個爪子式結構，旋轉方向呈90°陣列分布。

3.如權利要求1所述的一種三自由度大行程柔性納米定位平臺，其特征是，進一步的，所述運動平臺包括：第一連接件、第二連接件、第三連接件和第四連接件；第一連接件與第一X向柔性解耦件、第一Y向柔性解耦件及Y向驅動器Y1相連；第二連接件與第二X向柔性解耦件、第二Y向柔性解耦件及X向驅動器X1相連；第三連接件與第三X向柔性解耦件、第三Y向柔性解耦件及Y向驅動器Y2相連；第四連接件與第四X向柔性解耦件、第四Y向柔性解耦件及X向驅動器X2相連。

4.如權利要求1或3所述的一種三自由度大行程柔性納米定位平臺，其特征是，所述X向驅動器X1與第二連接件及固定底座第一連接部相連；所述X向驅動器X2與第四連接件及固定底座第二連接部相連；所述Y向驅動器Y1與第一連接件及固定底座第一連接部相連；所述Y向驅動器Y2與第三連接件及固定底座第一連接部相連。

5.如權利要求1所述的一種三自由度大行程柔性納米定位平臺，其特征是，第一X向柔性解耦件、第三X向柔性解耦件、第二Y向柔性解耦件及第四Y向柔性解耦件為矩形板簧；

第二X向柔性解耦件、第四X向柔性解耦件、第一Y向柔性解耦件及第三Y向柔性解耦件為雙級π型板簧。

6.如權利要求1所述的一種三自由度大行程柔性納米定位平臺，其特征是，所述第一X向柔性解耦件沿X向延伸且分別與基座和第一連接件相連；所述第二X向柔性解耦件中雙級π型板簧與終端平臺第二連接部、終端平臺第三連接部及第一連接件相連；所述第三X向柔性解耦件沿X向延伸且分別與基座和第三連接件相連；所述第四X向柔性解耦件中雙級π型板簧與終端平臺第四連接部、終端平臺第一連接部及第二連接件相連。

7.如權利要求1或6所述的一種三自由度大行程柔性納米定位平臺，其特征是，所述第一Y向柔性解耦件中雙級π型板簧與終端平臺第一連接部、終端平臺第二連接部及第一連接件相連；第二Y向柔性解耦件沿Y向延伸且分別與基座和第二連接件相連；所述第三Y向柔性解耦件中雙級π型板簧與終端平臺第三連接部、終端平臺第四連接部及第二連接件相連；第四Y向柔性解耦件沿Y向延伸且分別與基座和第四連接件相連。

8.如權利要求1所述的一種三自由度大行程柔性納米定位平臺，其特征是，所述第一X向柔性解耦件、所述第二X向柔性解耦件、所述第三X向柔性解耦件、所述第四X向柔性解耦件、第一Y向柔性解耦件、第二Y向柔性解耦件、第三Y向柔性解耦件、第四Y向柔性解耦件均各自為對稱結構。

9.如權利要求1或5所述的一種三自由度大行程柔性納米定位平臺，其特征是，所述第一X向柔性解耦件、第三X向柔性解耦件、第二Y向柔性解耦件、第四Y向柔性解耦件結構完全相同；

所述第二X向柔性解耦件、第四X向柔性解耦件、第一Y向柔性解耦件、第三Y向柔性解耦件結構完全相同。

10.如權利要求1或5所述的一種三自由度大行程柔性納米定位平臺，其特征是，第一X向柔性解耦件、第三X向柔性解耦件、第二Y向柔性解耦件及第四Y向柔性解耦件的矩形板簧剛度遠大于第二X向柔性解耦件、第四X向柔性解耦件、第一Y向柔性解耦件及第三Y向柔性解耦件雙級π型板簧剛度。