[發明專利]Z掃描光學偏振度測量裝置和測量方法

有效

• 申請號: 201510280657.2
• 申請日: 2015-05-28
• 公開（公告）號: CN104848944B
• 公開（公告）日: 2017-02-22
• 發明（設計）人: 焦新兵;薛松;孫榕;解佳欣
• 申請（專利權）人: 上海理工大學
• 主分類號: G01J4/00
• 分類號: G01J4/00
• 代理公司: 上海脫穎律師事務所31259
• 代理人: 脫穎

1.一種用于Z掃描的光學偏振度測量裝置，其特征在于，其構成包括：

光源單元，該光源單元包括第一激光器(2)、第二激光器(5)和信號發生器(1)，其能夠產生不同波段的激光；

二向色分束器(8)，其能夠為從光源單元入射的不同波段的入射光提供不同的分束比；

薄膜樣片測試單元，該薄膜樣片測試單元包括第一非偏振分束器(10)和第二非偏振分束器(16)以及第一樣片控制臺和第二樣片控制臺，其中第一非偏振分束器(10)和第二非偏振分束器(16)分別與第一樣片控制臺和第二樣片控制臺連接，第一樣片控制臺和第二樣片控制臺分別連接到第二聚焦透鏡(13)和第一探測頭(14)以及第三聚焦透鏡(19)和第探二測頭(20)，所述第一樣片控制臺包括第一夾具(11)、第一樣片(12)和第一控制平臺(15)，第二樣片控制臺包括第二夾具(17)、第二樣片(18)和第二控制平臺(21)，來自二向色分束器(8)的光進入第一非偏振分束器而分為兩束光，透射的光進入第一樣片(12)，反射的光進入第二非偏振分束器(16)；以及

偏振儀，

其中，第一非偏振分束器(10)和第二非偏振分束器(16)將光束一分為二，其中分出來的兩束光偏振度相同，

其中，由光源單元產生的激光經由主光路到達薄膜樣片測試單元，通過所述薄膜樣片測試單元的光利用偏振儀并借助計算機而在軟件界面上顯示以計算出樣片對光的偏振度。

2.根據權利要求1所述的光學偏振度測量裝置，其特征在于：第一激光器(2)輸出激光的主光路、第二激光器(5)和第一激光器(2)同時輸出激光的主光路，沿所述的第一激光器(2)輸出激光的主光軸方向上依次具有第一光纖(3)、第一準直器(4)、二向色分束器(8)、第一聚焦透鏡(9)、薄膜樣片測試單元、第四聚焦透鏡(22)、第三探測頭(23)、偏振儀(24)和計算機(25)；所述的第二激光器(5)和第一激光器(2)同時輸出激光的光路上具有第二激光器(5)、第二光纖(6)和第一準直器(7)，來自第一準直器的光入射到二向色分束器，其后續光路與第一激光器(2)輸出激光的主光路相同。

3.根據權利要求1所述的光學偏振度測量裝置，其特征在于：第一樣片(12)和第二樣片(18)分別固定在第一控制平臺(15)和第二控制平臺(21)，控制平臺由計算機(25)控制，在計算機的控制下，樣片能夠在平行于光路的平臺Z軸移動。

4.根據權利要求1所述的光學偏振度測量裝置，其特征在于：連接激光器與準直器的分別是第一光纖(3)和第二光纖(6)，兩者均是保偏光纖。

5.根據權利要求1所述的光學偏振度測量裝置，其特征在于：準直器(4)與(7)的內部包含凸透鏡，以將激光變成平行光，從而使光最大效率的輸出。

6.根據權利要求1所述的光學偏振度測量裝置，其特征在于：利用非偏振分束器分出來的光作為參考光，即第四聚焦透鏡(22)和第三探測頭(23)構成了測量參考光偏振度的一個模塊單元。

7.根據權利要求1所述的光學偏振度測量裝置，其特征在于：探測頭即第一探測頭(14)、第二探測頭(20)、第三探測頭(23)與偏振儀(24)中的對應讀出卡構成了自由空間偏振檢測。