[發明專利]多波導集成諧振半導體激光器

在審

• 申請號: 201510279636.9
• 申請日: 2015-05-27
• 公開（公告）號: CN104901159A
• 公開（公告）日: 2015-09-09
• 發明（設計）人: 陳泳屹;秦莉;寧永強;王立軍;佟存柱;單肖楠
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: H01S5/10
• 分類號: H01S5/10;H01S5/065;H01S5/068;H01S5/0687
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 張偉

1.多波導集成諧振半導體激光器，其特征在于，在半導體激光芯片上制作光子橋、模式穩定器和功率放大器；所述光子橋通過一個或多個全同或相異的模式穩定器陣列與功率放大器連接。

2.根據權利要求1所述的多波導集成諧振半導體激光器，其特征在于，所述光子橋的結構是Y形波導、脊形波導、光子晶體波導、光學槽，或者以上結構的混合應用。

3.根據權利要求1所述的多波導集成諧振半導體激光器，其特征在于，所述模式穩定器采用側面或者頂面為光柵結構、SLOT結構、脊形結構、光子晶體結構、分布反饋結構，或者以上結構的混合應用。

4.根據權利要求1所述的多波導集成諧振半導體激光器，其特征在于，所述功率放大器是錐形波導結構。

5.根據權利要求1所述的多波導集成諧振半導體激光器，其特征在于，在所述半導體激光芯片上已存在一個或多個多波導集成諧振半導體激光器時，部分功率放大器直接與光子橋相連接。

6.根據權利要求1所述的多波導集成諧振半導體激光器，其特征在于，所述在光子橋、模式穩定器和功率放大器的設計出光端面制作增透膜，其余端面制作反射結構或者蒸鍍全反射薄膜。