[發(fā)明專利]3D X-RAY檢測用的夾具

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510276301.1
• 申請日: 2015-05-26
• 公開（公告）號: CN104897697A
• 公開（公告）日: 2015-09-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳媛;侯波
• 申請（專利權(quán)）人: 工業(yè)和信息化部電子第五研究所
• 主分類號: G01N23/04
• 分類號: G01N23/04
• 代理公司: 廣州華進聯(lián)合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 劉培培

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及電子檢測技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種3D?X-RAY檢測用的夾具。

背景技術(shù)

目前，在對電子芯片、PCB板、電容器等電子元器件進行檢測時會用到3D?X-RAY設(shè)備，3D?X-RAY(X射線)檢測設(shè)備對包括上述電子元器件的樣品掃描后會形成3D圖像，該3D圖像可以消除物體重疊對檢測帶來的影響，準確地顯示樣品的完整信息，包括被大量覆蓋的、隱藏的缺陷信息。樣品在3D?X-RAY檢測設(shè)備中被X射線源掃描時，需由夾具固定并隨著其中的旋轉(zhuǎn)裝置旋轉(zhuǎn)，夾具是放置在旋轉(zhuǎn)裝置上的，且隨樣品的不同而有多種，這就要求夾具能保持穩(wěn)固性，不會抖動而影響掃描的準確性，同時密度和原子序數(shù)也不能太大，否則會極大地降低X射線的能量強度，進而影響成像效果。

發(fā)明內(nèi)容

基于此，本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種具有良好穩(wěn)定性、能夠快速更換檢測樣品的3D?X-RAY檢測用的夾具。

其技術(shù)方案如下：

一種3D?X-RAY檢測用的夾具，包括底盤、支撐桿和樣品桿，支撐桿豎直地設(shè)立在底盤上，該支撐桿的上端設(shè)有緊固裝置，樣品桿的下端與緊固裝置的連接口相適配，樣品桿的上端用于放置檢測樣品。

在其中一個實施例中，所述樣品桿的直徑等于或小于檢測樣品的直徑。

在其中一個實施例中，所述樣品桿的密度ρ₁≤1.5g/cm³、原子序數(shù)n≤6，所述樣品桿為棒狀結(jié)構(gòu)體。

在其中一個實施例中，所述樣品桿為碳棒或塑料棒。

在其中一個實施例中，所述底盤為密度ρ₂≥7g/cm³的板狀結(jié)構(gòu)體。

在其中一個實施例中，所述底盤為鋼板或石板。

在其中一個實施例中，所述底盤通過螺絲與3D?X-RAY檢測設(shè)備的樣品臺構(gòu)成可拆卸連接。

在其中一個實施例中，所述緊固裝置包括主體和套設(shè)在主體上的螺套，所述主體的下端與所述支撐桿連接，所述連接口設(shè)置在主體的上端，螺套在主體上旋轉(zhuǎn)的時候能夠調(diào)節(jié)所述連接口的口徑。

在其中一個實施例中，所述支撐桿的軸心線、所述緊固裝置的軸心線和所述樣品桿的軸心線都位于所述底盤的軸心線上。

下面對前述技術(shù)方案的優(yōu)點或原理進行說明：

上述的3D?X-RAY檢測用的夾具中，樣品桿用于固定檢測樣品；支撐桿用于固定樣品桿，并提供合適的高度使樣品桿上的檢測樣品與3D?X-RAY檢測設(shè)備中的射線源及探測器處于同一高度，以提高掃描成像效果(即提高檢測的準確性)；緊固裝置用于固定樣品桿，這種可拆卸式的方式便于固定不同直徑的樣品桿(以便固定不同直徑的檢測樣品)；底盤用于與3D?X-RAY檢測設(shè)備的樣品臺連接，底盤的軸心線位于樣品臺的軸心線上，能夠保障隨樣品臺旋轉(zhuǎn)的過程中保持穩(wěn)定，避免檢測樣品抖動影響掃描成像效果。它是一種具有良好穩(wěn)定性、能夠快速更換檢測樣品的夾具。

附圖說明

圖1為本發(fā)明實施例所述的3D?X-RAY檢測用的夾具的結(jié)構(gòu)示意圖；

附圖標記說明：

1、底盤，11、螺絲，2、支撐桿，21、緊固裝置，3、樣品桿，4、檢測樣品。

具體實施方式

下面對本發(fā)明的實施例進行詳細說明：

如圖1所示，為一種3D?X-RAY檢測用的夾具，其包括底盤1、支撐桿2和樣品桿3，支撐桿2豎直地設(shè)立在底盤1上，該支撐桿2的上端設(shè)有緊固裝置21，樣品桿3的下端與緊固裝置21的連接口相適配，樣品桿3的上端用于固定檢測樣品4(如電子芯片、PCB板、電容器等電子元器件)。其中，樣品桿3用于固定檢測樣品4(如采用膠黏劑的方式進行固定)；支撐桿2用于固定樣品桿3，并提供合適的高度使樣品桿3上的檢測樣品4與3D?X-RAY檢測設(shè)備中的射線源及探測器處于同一高度，以提高掃描成像效果(即提高檢測的準確性)；緊固裝置21用于固定樣品桿3，這種可拆卸式的方式便于固定不同直徑的樣品桿3(以便固定不同直徑的檢測樣品4)；底盤1用于與3D?X-RAY檢測設(shè)備的樣品臺連接，底盤的軸心線位于樣品臺的軸心線上，能夠保障隨樣品臺旋轉(zhuǎn)的過程中保持穩(wěn)定，避免檢測樣品4抖動影響掃描成像效果。它是一種具有良好穩(wěn)定性、能夠快速更換檢測樣品4的夾具。