[發(fā)明專(zhuān)利]一種光刻機(jī)減振框架有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201510270152.8 | 申請(qǐng)日： | 2015-05-24 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN106292196B | 公開(kāi)（公告）日： | 2018-07-20 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 葛黎黎;朱岳彬;高玉英 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | G03F7/20 | 分類(lèi)號(hào)： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時(shí)云 |
| 地址： | 201203 上*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 光刻 機(jī)減振 框架 | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
下載完整專(zhuān)利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分，VIP會(huì)員可以免費(fèi)下載。
該專(zhuān)利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)。該專(zhuān)利全部權(quán)利屬于上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司，未經(jīng)上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買(mǎi)此專(zhuān)利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201510270152.8/1.html，轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來(lái)源鉆瓜專(zhuān)利網(wǎng)。
- 同類(lèi)專(zhuān)利
- 專(zhuān)利分類(lèi)
G03 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)
G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專(zhuān)用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專(zhuān)用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷?；蝾?lèi)似印刷模的制作，例如，鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備
G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專(zhuān)用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專(zhuān)用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷?；蝾?lèi)似印刷模的制作，例如，鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備
- 一種壓縮機(jī)減振系統(tǒng)及空調(diào)
- 一種壓縮機(jī)減振系統(tǒng)及空調(diào)
- 減振部件及壓縮機(jī)
- 壓縮機(jī)減振裝置、房車(chē)空調(diào)和房車(chē)
- 減振部件及壓縮機(jī)
- 壓縮機(jī)的減振結(jié)構(gòu)及包括該減振結(jié)構(gòu)的電器
- 壓縮機(jī)減振裝置、房車(chē)空調(diào)和房車(chē)
- 壓縮機(jī)用減振結(jié)構(gòu)
- 一種汽車(chē)零部件壓鑄機(jī)的減振裝置
- 一種用于油動(dòng)無(wú)人直升機(jī)飛控減振機(jī)構(gòu)及無(wú)人直升機(jī)
