[發明專利]用于將材料引入材料處理系統的托架系統

在審

• 申請號: 201510264145.7
• 申請日: 2015-03-02
• 公開（公告）號: CN104878349A
• 公開（公告）日: 2015-09-02
• 發明（設計）人: J·登普斯特;J·梅納德
• 申請（專利權）人: HZO股份有限公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26;C23C14/12
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 張濤

技術領域

本公開通常涉及用于形成保護涂層的裝置、系統(包括材料處理系統)和方法。更具體地，本公開的實施例涉及用于在諸如電子器件和它們部件的襯底上選擇性形成包括防濕涂層的保護涂層的裝置、系統和方法。另外更具體地，本公開的一些實施例包括托架系統，包括托架，以及配置用于保持前驅物材料以用于引入諸如材料沉積設備的材料處理系統中的多個杯體。

背景技術

隨著半導體技術的增速發展，電子器件已經在現代生活中扮演了越來越重要的角色。移動電話、數碼相機、數字媒體播放器、平板電腦、可穿戴電子器件等等當前是非常普通的，并且對它們的使用持續擴展。例如，移動電話已經成為在辦公室員工生活中重要的設備，特別是隨著所謂智能電話的出現，其允許人們不僅播出和接聽電話呼叫，而且也允許發送和接收電子郵件或其他電子消息、瀏覽互聯網或其他網絡、查看和創建日歷事件、查看和編輯文檔等等。移動電話和其他便攜式裝置也普遍用于辦公場所之外；估計到2015年底，每年將生產近十億部智能電話。

當便攜式電子裝置的使用已經增多時，它們將損壞的可能性也增大。特別地，不同于具有受限的便攜性的臺式計算機或其他裝置，移動裝置可以重復地經受不同類型環境，其可以跌落或者可以經受其他潛在的損傷條件。例如，當攜帶智能電話、筆記本、電子書閱讀器、數碼相機或其他便攜式電子裝置時，便攜式電子裝置可以暴露于來自降雨的水或其他環境條件，或者裝置可以意外地跌落至水坑、水池、廁所或其他潮濕位置中。

對于電子裝置(便攜式或其他)的損傷可以削弱其功能或者可以使得電子裝置完全停止工作。更換電子裝置可以是昂貴的。在移動電話的語境中，移動電話托架可以補貼移動電話進貨價格的一部分，但是通常僅每十八至二十四個月提供補貼。如果在由移動電話托架提供的另一補貼時間之前移動電話損傷，用戶可以必需承擔更換或修復移動電話的費用。此外，電子裝置的部件暴露于水或其他類型濕氣也可以使得對電子裝置的擔保無效，未給用戶留下多少選擇而只能不使用電子裝置或者花費極大金錢數額以修復或更換電子裝置。

盡管對于一些便攜式電子裝置已經開發了可移除的殼體，可移除殼體通常并未提供對于水、其他類型濕氣或可以損傷便攜式電子裝置的其他因素的完整保護。結果，當便攜式電子裝置暴露于水、其他類型濕氣或其他潛在損傷源時，潛在損傷源可以找到進入便攜式電子裝置中并且損傷便攜式電子裝置部件的方式(例如泄漏等)。一些保護殼體也可以使得裝置防水，但是防水殼體通常體積大并且大大增加了便攜式電子裝置的重量或尺寸，減損了便攜式電子裝置的圓滑外觀。此外，通常配置防水殼體以防止濕氣到達便攜式電子裝置的端口，并且因此使得用戶更難以接觸并使用便攜式電子裝置的端口。為了這些和其他原因，許多用戶避免使用防水殼體。

作為使用防水殼體的備選例，已經開發了防濕技術以用于保護電子裝置內的敏感性部件。該技術的一個示例是已經由猶他州Draper的HZO公司開發的聚對二甲苯涂覆技術。例如HZO的保護涂層工藝可以集成至組裝、整修和重制造工藝中，這些通常是高產量、對于時間敏感的工藝。

當使用保護涂層工藝時，前驅物通常引入材料處理設備中，該材料處理設備配置用于將保護涂層施加至一個或多個襯底。前驅物材料可以由舟槽承載，其引入材料處理設備中。有時候加熱前驅物以提供將形成保護涂層的反應物質。當前驅物材料是干粉末或顆粒形式時，在沉積工藝之后許多材料可以保留在舟槽中。在一些情形中，保留的前驅物材料分解或者另外以在后續保護涂層工藝期間阻礙其使用的方式而影響。

發明內容

根據本公開一些實施例的托架系統可以用于諸如沉積系統(例如聚對二甲苯沉積系統等)的材料處理系統內以選擇性施加保護涂層(例如聚對二甲苯涂層等)至襯底。可以配置用于容納并保持前驅物材料(例如聚對二甲苯等)的托架系統可以包括托架以及一個或多個舟槽、或杯體。舟槽可以配置用于位于托架內，并且因此可以互補地配置為托架的至少一部分。可以配置托架系統(例如經由其形狀、其顏色和/或其材料)以使其能夠盡快加熱至所需溫度。作為示例，可以定形托架系統以確保卡盒合適地定位和/或對準在沉積系統的蒸發腔室內，以確保卡盒形成與蒸發腔室的熱源的合適接觸，和/或以優化接觸熱源的總表面積，這可以提供更有效的使用前驅物(例如可以使得卡盒內基本上所有前驅物材料蒸發等)以及可以減小對于前驅物材料的損傷或者前驅物材料的浪費。