[發明專利]一種低溫藥液清洗裝置

有效

• 申請號: 201510249968.2
• 申請日: 2015-05-15
• 公開（公告）號: CN104826831B
• 公開（公告）日: 2016-10-19
• 發明（設計）人: 滕宇
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: B08B3/08
• 分類號: B08B3/08;B08B13/00
• 代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 陶金龍;張磊

1.一種低溫藥液清洗裝置，用于對承載在旋轉體上的晶片進行清洗，其特征在于，包括：

氣體冷卻裝置，用于對常溫氣體進行冷卻，并將冷卻后的氣體輸送至藥液冷卻裝置，包括冷卻氣體管路、冷卻氣體管路支架、液氮儲液罐以及升降電機；所述冷卻氣體管路具有U形端部，所述U形端部保持于所述液氮儲液罐的液位下方，所述冷卻氣體管路支架用于固定所述冷卻氣體管路，所述升降電機用于驅動所述冷卻氣體管路支架做升降運動；

藥液冷卻裝置，用于引入冷卻后的氣體，并對常溫藥液進行冷卻和輸出，包括藥液冷卻裝置外殼、冷卻氣體排氣管路、常溫藥液管路、內部藥液管路以及冷卻后藥液管路；所述藥液冷卻裝置外殼的一端連接所述冷卻氣體管路以及常溫藥液管路，所述藥液冷卻裝置外殼的另一端連接所述冷卻氣體排氣管路以及冷卻后藥液管路，所述常溫藥液管路、內部藥液管路以及冷卻后藥液管路相貫通，所述冷卻后藥液管路上設有用于感測冷卻后藥液溫度的溫度傳感器；

控制單元，其一端與所述溫度傳感器連接，另一端與所述升降電機連接，用于接收所述溫度傳感器檢測的溫度值并控制所述升降電機，以調節所述冷卻氣體管路的U形端部在液氮儲液罐中的長度，進而控制冷卻后藥液管路中藥液的溫度。

2.根據權利要求1所述的低溫藥液清洗裝置，其特征在于，所述內部藥液管路為橫向波紋狀結構、縱向波紋狀結構、螺旋狀結構其中的一種或幾種結構的組合，且所述內部藥液管路的一端具有常溫藥液管路接頭，另一端具有冷卻后藥液管路接頭。

3.根據權利要求2所述的低溫藥液清洗裝置，其特征在于，所述藥液冷卻裝置外殼上具有常溫藥液管路穿板接頭、冷卻氣體管路接頭、冷卻后藥液管路穿板接頭以及冷卻氣體排氣管路接頭，其中，所述常溫藥液管路穿板接頭與常溫藥液管路接頭連接，所述冷卻后藥液管路穿板接頭與冷卻后藥液管路接頭連接。

4.根據權利要求1所述的低溫藥液清洗裝置，其特征在于，所述液氮儲液罐內設有液位傳感器以及報警裝置，所述液位傳感器用于檢測所述液氮儲液罐內液氮的液位高度，所述報警裝置在液位高度低于預設值時發出警報。

5.根據權利要求1所述的低溫藥液清洗裝置，其特征在于，所述藥液冷卻裝置外殼的內側壁具有保溫層。

6.根據權利要求1所述的低溫藥液清洗裝置，其特征在于，所述常溫藥液管路上設有用于檢測清洗藥液流量的液體流量計。

7.根據權利要求1所述的低溫藥液清洗裝置，其特征在于，所述冷卻氣體管路上設有用于檢測常溫氣體流量的氣體流量計。

8.根據權利要求1～7任一所述的低溫藥液清洗裝置，其特征在于，所述冷卻氣體管路為金屬材質或耐腐蝕材質。

9.根據權利要求1～7任一所述的低溫藥液清洗裝置，其特征在于，所述藥液冷卻裝置外殼為可拆卸結構。

10.根據權利要求1～7任一所述的低溫藥液清洗裝置，其特征在于，所述冷卻后藥液管路的輸出口位于晶片的上方。