[發明專利]一種釩鋁硅三元合金靶材及其制備方法

無效

• 申請號: 201510249724.4
• 申請日: 2015-05-15
• 公開（公告）號: CN104928539A
• 公開（公告）日: 2015-09-23
• 發明（設計）人: 岳建嶺;張瓊;陳海奕;徐虹杰;藍振華
• 申請（專利權）人: 上海柯瑞冶金爐料有限公司;上海彭浦特種耐火材料廠有限公司
• 主分類號: C22C21/00
• 分類號: C22C21/00;C22C27/02;C22C30/00;B22F3/14;C23C14/32;C23C14/35;C23C14/14
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司 31002
• 代理人: 潘振甦

1.一種釩鋁硅三元合金靶材，其特征在于所述的原子百分比含量為：釩20％～70％，硅1％～10％，余量為鋁。

2.按權利要求1所述的靶材，其特征在于所選用的三種金屬粉末——釩粉、鋁粉和硅粉的純度均在99.5％以上，其中，釩粉的粒徑為10～200μm，鋁粉的粒徑為10～200μm，硅粉的粒徑為10～200μm。

3.按權利要求1或2所述的靶材，其特征在于具體組成為：

a)50％V、49％Al和1％Si；

b)50％V、45％Al和5％Si；

c)27％V、64％Al和9％Si；

d)65％V、30％Al和5％Si；

以上均為原子百分比。

4.制備按權利要求1或2所述的靶材的方法，其特征在于采用真空熱壓方法制備的步驟為：

(1)按照一定的成分比例配制鋁粉、釩粉和硅粉，放入混料罐中充分混合均勻，混料時間為1-6小時；

(2)粉末混合均勻后放置入真空熱壓設備的模具中，然后對設備進行抽真空，當真空度達到1×10^-2Pa對混合粉末進行預壓以獲得具有一定致密度的生坯，預壓壓力在5-30MPa；

(3)然后對模具進行卸載，并開始升溫，溫度升高到350-550℃時保溫1-5小時，去除混合粉末表面吸附的氣體；然后繼續升溫，到900-1200℃時，同時升高熱壓機的壓力到30-100MPa，保溫1-6小時，然后停止加熱，降低壓力至5-10MPa；

(4)冷卻到室溫完全卸載設備壓力，隨后對制品進行脫模，對獲得的釩鋁硅三元合金靶坯料進行機加工處理，加工完畢后進行清洗、烘干、包裝工序，得到尺寸、質量符合設計要求的釩鋁硅三元合金靶材成品。

5.按權利要求3所述的方法，其特征在于：

a)步驟(1)所述的粉末混合是在10^-1Pa以下真空或高純氬保護下進行；

b)所述的混料罐為V型混料機。

6.由權利要求4或5方法所制備的靶材作為原材料，通過氮氣反應制備的VAlSiN涂層的硬度介于30-45GPa之間。