[發明專利]電鍍液循環過濾系統

在審

• 申請號: 201510248943.0
• 申請日: 2015-05-16
• 公開（公告）號: CN104862769A
• 公開（公告）日: 2015-08-26
• 發明（設計）人: 張斌珍;段俊萍;王雄師;徐蘇坪;楊昕;張勇;王亮;葛少雷;寇海榮;孫玉潔;楊婧文;段亞敏
• 申請（專利權）人: 中北大學
• 主分類號: C25D21/18
• 分類號: C25D21/18
• 代理公司: 太原科衛專利事務所(普通合伙) 14100
• 代理人: 朱源

技術領域

本發明涉及電鍍技術領域，具體為一種電鍍液循環過濾系統。

背景技術

UV-Liga工藝分為光刻，微電鑄，微復制三個步驟。其中微電鑄失敗，鍍層可能出現：發花或發霧、不亮、粗糙、有麻點、有條紋、疏松、有毛刺、長瘤、長針孔、脫皮、橘皮、淚痕和羽狀等現象。因此，電鑄的成功與否直接決定了微復制能否成功，而電鑄液性能的好壞正是電鍍工藝的關鍵。俗話說得好“三分電鍍七分干凈”，即電鍍液的潔凈度對最終的電鍍效果可以說起著十分巨大的影響，而傳統的電鍍行業都沒有把循環過濾這一部分考慮到，或者是考慮到了沒有提出切實可行的方案來解決這個問題。有的把配好的電鍍液一直電鍍到完都沒有過濾過一次，有的則是電鍍一段時間后用濾紙簡單過濾一遍后繼續使用。顯然這些對于潔凈度要求相當高的電鍍工藝而言是遠遠不夠的。

發明內容

本發明的目的是為了解決上述現有技術中存在的問題，而提供一種電鍍液循環過濾系統。

本發明是通過如下技術方案實現的：

一種電鍍液循環過濾系統，包括電鍍槽、PH值測試筆、溫度控制系統、超聲控制系統、磁力泵、100微米級過濾器和10微米級過濾器；其中，電鍍槽分為電鍍內槽和電鍍外槽，電鍍外槽環繞固定在電鍍內槽的外側壁中上部；PH值測試筆插裝在電鍍內槽或電鍍外槽內；溫度控制系統和超聲控制系統安裝固定在電鍍內槽的底板外部；磁力泵與電鍍外槽的底部連接相通，100微米級過濾器與磁力泵連接相通，10微米級過濾器與100微米級過濾器連接相通，10微米級過濾器與電鍍內槽的底部連接相通。

進一步的，電鍍外槽的槽口高于電鍍內槽的槽口。電鍍內槽和電鍍外槽采用噴氟不銹鋼材料制作而成。溫度控制系統和超聲控制系統的整體外部套裝有振盒，振盒采用噴氟不銹鋼材料制作而成。

當工藝開始后，溫度控制系統、超聲控制系統、磁力泵同時啟動，磁力泵將電鍍外槽中的電鍍液壓入100微米級過濾器，再經過10微米級過濾器，經過濾的干凈電鍍液再從電鍍內槽底部進入電鍍內槽，電鍍內槽電鍍液溢出后進入電鍍外槽，如此，循環往復，直到工藝結束，如圖1所示，其中的箭頭表示溶液循環路徑。對于比較臟的電鍍液，請及時更換過濾器濾芯。

電鍍槽槽體采用噴氟不銹鋼材料，保證了電鍍槽的結構的穩定性和耐腐蝕性；PH值測試筆以方便隨時測試并控制電鍍液的PH值；溫度控制系統用于監測并控制電鍍槽內電鍍液的溫度，可加溫可制冷；超聲控制系統的超聲頻率為80KHZ，功率最大為450W，予以保證電鍍時電鍍液成份的均一穩定以及增強對微小結構尤其是微米級結構電鍍的能力；10微米級過濾器和100微米級過濾器組成兩層過濾器系統，一是防止大顆粒雜質直接阻塞10微米級過濾器，再是可以使電鍍液更加潔凈，還有則是減少了10微米級過濾器的更換次數，從而節約了成本；連接各器件之間的管路材料采用耐腐蝕PP管材，過濾器及磁力泵也采用耐腐蝕材料。最后在該電鍍槽上配備噴氟銅電極，以避免電極置于電鍍液或則潮濕的空氣中的腐蝕現象。

本發明系統設計科學、結構穩定、耐腐蝕好，在保證了電鍍液潔凈的基礎上也使電鍍液的性質更加均一穩定，該系統中增設的溫度、超聲控制系統不僅使其在微電鍍方面的性能優于其他電鍍系統，尤其是對于高深寬比的微結構。本發明系統保持了微電鍍中電鍍液的新鮮以及保持電鍍液性能均一穩定，為進一步的電鍍工作墊下了堅實的基礎，同時也加快了國內像UV-Liga這種基于電鍍工藝的發展，進而帶動整個行業更好的發展。

附圖說明

圖1為本發明系統的結構示意圖。

圖中：1-PH值測試筆、2-溫度控制系統、3-超聲控制系統、4-磁力泵、5-100微米級過濾器、6-10微米級過濾器、7-電鍍內槽、8-電鍍外槽、9-振盒。

具體實施方式

以下結合附圖對本發明作進一步的描述：

如圖1所示，一種電鍍液循環過濾系統，包括電鍍槽、PH值測試筆1、溫度控制系統2、超聲控制系統3、磁力泵4、100微米級過濾器5和10微米級過濾器6；其中，電鍍槽分為電鍍內槽7和電鍍外槽8，電鍍外槽8環繞固定在電鍍內槽7的外側壁中上部；PH值測試筆1插裝在電鍍內槽7或電鍍外槽8內；溫度控制系統2和超聲控制系統3安裝固定在電鍍內槽7的底板外部；磁力泵4與電鍍外槽8的底部連接相通，100微米級過濾器5與磁力泵4連接相通，10微米級過濾器6與100微米級過濾器5連接相通，10微米級過濾器6與電鍍內槽7的底部連接相通。

具體實施時，電鍍外槽8的槽口高于電鍍內槽7的槽口；電鍍內槽7和電鍍外槽8采用噴氟不銹鋼材料制作而成；溫度控制系統2和超聲控制系統3的整體外部套裝有振盒9，振盒9采用噴氟不銹鋼材料制作而成。