[發明專利]一種用于光學超分辨成像的可編程相位型光瞳濾波器

有效

• 申請號: 201510247030.7
• 申請日: 2015-05-15
• 公開（公告）號: CN104865709B
• 公開（公告）日: 2018-04-03
• 發明（設計）人: 戴云;趙麗娜;張雨東;肖飛;趙軍磊
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電技術研究所;成都信息工程大學
• 主分類號: G02B27/58
• 分類號: G02B27/58
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于光學超分辨成像的可編程相位型光瞳濾波器，其特征在于：設計超分辨光瞳濾波器位相結構，將波前校正器置于成像光學系統瞳面上，通過自適應光學系統控制波前校正器產生已設計好的超分辨光瞳濾波器位相結構，實現超分辨物體成像；波前校正器產生的超分辨光瞳濾波器位相由波前傳感器進行測量，測量結果輸入計算機與設定的超分辨濾波器位相結構進行對比，根據對比結果進一步修正波前校正器，重復這一過程，實現對光瞳濾波器位相結構的閉環擬合；

所述可編程相位型光瞳濾波器包括信標光源、第一中繼光學系統、波前校正器、第二中繼光學系統、第一反射鏡，第二反射鏡、波前傳感器；波前校正器通過第一中繼光學系統與系統入瞳光學共軛，波前校正器通過第二中繼光學系統與波前傳感器光學共軛；

信標光源發出的平行光經第一中繼光學系統、波前校正器、第二中繼光學系統、第一反射鏡后，通過第二反射鏡到達波前傳感器，波前傳感器實時測量波前校正器的相位分布并將測量結果送至計算機；計算機根據測得的相位分布，并與設定的濾波器位相結構進行對比，根據對比結果經計算機控制軟件處理，得到波前校正器的控制電壓，經高壓放大器對所述控制電壓進行放大后，驅動波前校正器產生相應變化，以閉環擬合需要的光瞳濾波器相位結構。

2.根據權利要求1所述的一種用于光學超分辨成像的可編程相位型光瞳濾波器，其特征在于：所述的波前校正器和波前傳感器通過第二中繼光學系統共軛放置，并與系統入瞳共軛。

3.根據權利要求1所述的一種用于光學超分辨成像的可編程相位型光瞳濾波器，其特征在于：所述波前校正器是從變形反射鏡，或液晶波前矯正器，或微加工薄膜變形鏡，或微機電變形鏡，或雙壓電陶瓷變形鏡，或液體變形鏡選擇的。

4.根據權利要求1所述的一種用于光學超分辨成像的可編程相位型光瞳濾波器，其特征在于：所述的波前傳感器是基于微透鏡陣列的哈特曼波前傳感器，或基于微棱鏡陣列的哈特曼波前傳感器，或曲率波前傳感器，或角錐波前傳感器中選擇的。