[發明專利]一種延長Mo/Al蝕刻藥液的使用壽命方法

有效

• 申請號: 201510225289.1
• 申請日: 2015-05-06
• 公開（公告）號: CN104894562B
• 公開（公告）日: 2017-06-16
• 發明（設計）人: 陳明耀;鄧澤新;黃偉東;李建華
• 申請（專利權）人: 信利（惠州）智能顯示有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08;C23F1/20;C23F1/26
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司44102
• 代理人: 任海燕

1.一種延長Mo/Al蝕刻藥液的使用壽命方法，包括盛放酸性藥液的藥液槽（1），與藥液槽連通且用于抽取藥液槽中藥液的循環泵（6），循環泵（6）的輸出端與用于監控藥液中金屬離子濃度的金屬離子濃度感應器（3）連通，金屬離子濃度感應器（3）的輸出端分別與藥液監控系統（5）和離子交換系統（2）連通，離子交換系統（2）的輸出端與藥液監控系統（5）連通，藥液監控系統的輸出端與藥液槽（1）連通；在金屬離子濃度感應器（3）的輸出端與離子交換系統（2）之間設有第一自動閥門開關（4）；在金屬離子濃度感應器（3）的輸出端與藥液監控系統（5）之間設有第二自動閥門開關（8）；藥液監控系統的輸出端與藥液槽（1）之間設有手動閥門開關（7）；所述的藥液監控系統（5）內設有PPC，PPC與金屬離子濃度感應器（3）、第一自動閥門開關（4）、第二自動閥門開關（8）連接，其特征在于，具體步驟如下：

S1.在藥液槽（1）中注入酸性藥液，在離子交換系統（2）中注入陽離子樹脂；

S2.在藥液監控系統（5）中的PPC設定金屬離子的最高濃度值為N1;

S3. 打開手動閥門開關（7）；藥液流向藥液監控系統（5），通過補藥液或更換藥液流回藥液槽（1）；

S4.監控系統中的PPC控制第一自動閥門開關（4）閉合、第二自動閥門開關（8）打開；

S5.不斷的抽取藥液槽中的酸性藥液與金屬反應，反應后產生金屬離子，且反應后的藥液重新回流至藥液槽（1）內；同時，循環泵（6）和藥液監控系統（5）工作，藥液監控系統實時監控和管理藥液的濃度；

S6.被循環泵（6）抽取的藥液經過金屬離子濃度感應器（3），金屬離子濃度感應器（3）實時檢測流過的藥液的金屬離子的濃度，記錄檢測的實時金屬離子的濃度值N2并數據發送至藥液監控系統中的PPC內；

S7.藥液監控系統中的PPC接收到金屬離子的濃度值為N2的數據后，藥液監控系統中的PPC根據其預先設定金屬離子的最高濃度值為N1和實時檢測的金屬離子的濃度值N2的大小進行比較；若金屬離子的最高濃度值為N1小于實時檢測的金屬離子的濃度值N2時，執行下一步；否則，返回步驟S5；

S8. 監控系統中的PPC控制第一自動閥門開關（4）打開、第二自動閥門開關（8）閉合，此時，藥液槽中的藥液流入離子交換系統（2）內，藥液中金屬離子與陽離子樹脂中的氫離子進行離子交換，置換出陽離子樹脂中的氫離子；藥液中的金屬離子從藥液中分離出來，氫離子重新補充在藥液中，電荷恢復平衡，藥液從離子交換系統（2）中流出來；

S9.執行步驟S5；

S10. 藥液監控系統中的PPC接收到金屬離子的濃度值為N2的數據后，藥液監控系統中的PPC根據藥液監控系統（5）中設定金屬離子的最高濃度值為N1和實時檢測的金屬離子的濃度值N2的大小進行比較；若設定金屬離子的最高濃度值為N1大于實時檢測的金屬離子的濃度值N2時，執行下一步；否則，執行步驟S8；

S11. 返回步驟S4；

S12.重復步驟S4至步驟S9，直至藥液槽中的酸性藥液被消耗;

所述的金屬為金屬鋁或金屬鉬。

2.根據權利要求1所述的延長Mo/Al蝕刻藥液的使用壽命方法，其特征在于，步驟S1中的酸性藥液為硝酸、醋酸、磷酸和去離子水的混合溶液。

3.根據權利要求1所述的延長Mo/Al蝕刻藥液的使用壽命方法，其特征在于，步驟S1中的陽離子樹脂為弱酸性陽離子樹脂。

4.根據權利要求1所述的延長Mo/Al蝕刻藥液的使用壽命方法，其特征在于，步驟S2中的金屬離子最高濃度值N1為500ppm。

5.根據權利要求1所述的延長Mo/Al蝕刻藥液的使用壽命方法，其特征在于，步驟S8中進行離子交換的反應式為:。