[發明專利]一種新型的平板滾動納米壓印裝置及壓印方法

在審

• 申請號: 201510224766.2
• 申請日: 2015-05-06
• 公開（公告）號: CN104793463A
• 公開（公告）日: 2015-07-22
• 發明（設計）人: 王亮
• 申請（專利權）人: 王亮
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 蘇州中合知識產權代理事務所(普通合伙) 32266
• 代理人: 李中華

1.一種新型的平板滾動納米壓印裝置，其特征在于，包括：

一柔性襯底；

一傳動裝置，包括柔性襯底滾輪、成品滾輪，柔性襯底滾輪和成品滾輪帶動柔性襯底連續滾動；

一個光刻噴膠裝置，設于所述傳動裝置上方且與所述柔性襯底對應；

至少一個預設有納米圖形單元的平板模具，平板模具與光刻噴膠裝置平行設置，且與所述柔性襯底對應；

一紫外曝光系統，對壓印后的柔性襯底進行曝光。

2.根據權利要求1所述的平板滾動納米壓印裝置，其特征在于：所述的柔性襯底還具有保護膜，保護膜與柔性襯底同軸繞制在襯底滾輪上，傳動裝置還包括保護膜滾輪，保護膜滾輪與襯底滾輪臨近且反向轉動，保護膜通過保護膜滾輪轉動與柔性襯底分離，最后壓印曝光后的柔性襯底與保護膜通過成品滾輪同步繞制在一起。

3.根據權利要求2所述的平板滾動納米壓印裝置，其特征在于：所述的傳動裝置還包括若干個傳動軸。

4.根據權利要求3所述的平板滾動納米壓印裝置，其特征在于：還包括力學反饋裝置，力學反饋裝置設在柔性襯底滾輪與成品滾輪間，調控整個傳動裝置的運行速度及柔性襯底的張力。

5.根據權利要求1所述的平板滾動納米壓印裝置，其特征在于：所述的紫外曝光系統固定在平板模具上側，隨平板模具同步移動。

6.根據權利要求1所述的平板滾動納米壓印裝置，其特征在于：還包括壓印頭裝置，所述的平板模具設于壓印頭裝置內。

7.根據權利要求6所述的平板滾動納米壓印裝置，其特征在于：所述的壓印頭裝置包括模具預設臺、模具平臺、驅動裝置，模具預設臺通過驅動裝置帶動上下及左右移動，所述的模具平臺通過連動桿與模具預設臺連接，紫外曝光系統固定在模具平臺中部，在紫外曝光系統正下方固定平板模具。

8.根據權利要求1所述的平板滾動納米壓印裝置，其特征在于：所述的光刻噴膠裝置通過點滴噴墨方法將光刻膠噴涂在柔性襯底上。

9.一種利用平板滾動納米壓印裝置進行壓印的方法，其特征在于：包括如下步驟：

步驟一：提供一柔性襯底，一傳動裝置，包括柔性襯底滾輪、成品滾輪，至少一個預設有納米圖形單元的平板模具，紫外曝光系統及一光刻膠噴頭；

步驟二：柔性襯底滾輪與成品滾輪連續轉動從而帶動柔性襯底連續移動；使所述的光刻膠噴頭與柔性襯底對準，將設定好的光刻膠噴涂在柔性襯底上，然后將涂有光刻膠的柔性襯底與平板模具壓印，隨后進行紫外曝光，曝光后分離所述的柔性襯底和平板模具，完成一個壓印周期；

重復所述的步驟二，使所述柔性襯底上獲得若干個所述納米圖形單元形成的納米圖形陣列。