[發明專利]用于微機械Z傳感器的擺桿裝置

在審

• 申請號: 201510224116.8
• 申請日: 2015-02-15
• 公開（公告）號: CN104849493A
• 公開（公告）日: 2015-08-19
• 發明（設計）人: A·朔伊爾勒;G-N-C·烏爾希里;M·海茨;A·奧爾托
• 申請（專利權）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: G01P15/08
• 分類號: G01P15/08;B81B3/00;B81B7/02
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 郭毅

1.一種用于微機械Z傳感器(200)的擺桿裝置(100)，所述擺桿裝置：

具有兩個能夠圍繞扭轉軸線(10)支承的、皿狀構造的擺桿臂(20，21)，其中，所述擺桿裝置(100)相對于所述扭轉軸線(10)非對稱地構造；

對于每個擺桿臂(20，21)具有一個止擋區域，所述止擋區域具有至少一個第一止擋元件(30)，其中，在每一個擺桿臂(20，21)上所述止擋區域相對于所述擺桿裝置(100)的傳感區域(SB)限定地增高地構造。

2.根據權利要求1所述的擺桿裝置(100)，其特征在于，所述擺桿裝置(100)在所述止擋區域中的增高的程度基本上相應于所述第一止擋元件(30)的高度。

3.根據權利要求1或2所述的擺桿裝置(100)，其特征在于，在所述擺桿裝置(100)的下側上對于每個擺桿臂(20，21)在所述第一止擋元件(30)和所述扭轉軸線(10)之間附加地設置有至少一個第二止擋元件(31)。

4.根據以上權利要求中任一項所述的擺桿裝置(100)，其特征在于，所述擺桿裝置(100)的穿孔構造為具有倒圓的角的開口(80)。

5.根據權利要求4所述的擺桿裝置(100)，其特征在于，所述開口(80)縫隙狀地構造。

6.根據以上權利要求中任一項所述的擺桿裝置(100)，其特征在于，所述擺桿裝置(100)還具有至少一個減負荷元件(60)，所述至少一個減負荷元件以穿透所述擺桿裝置(100)的全部層的縫隙的形式構造。

7.根據權利要求6所述的擺桿裝置(100)，其特征在于，所述減負荷元件(60)在所述擺桿裝置(100)的止擋裝置(70)的區域中和/或從所述擺桿裝置(100)的邊緣區域開設到所述擺桿裝置(100)中地構造。

8.一種微機械Z傳感器(200)，其具有根據權利要求1至7中任一項所述的擺桿裝置(100)。

9.一種用于制造微機械Z傳感器(200)的擺桿裝置(100)的方法，所述方法具有以下步驟：

提供兩個非對稱的皿狀構造的擺桿臂(20，21)；

對于每個擺桿臂(20，21)如此構造各一個區域，使得所述區域具有至少一個第一止擋元件(30)并且相對于所述擺桿裝置(100)的傳感區域(SB)限定地增高地構造。

10.根據權利要求9所述的方法，其中，對于每個擺桿臂(20，21)在止擋裝置(70)的區域中構造至少一個減負荷元件(60)，其中，所述減負荷元件(60)構造為穿透所述擺桿裝置(100)的所有功能層(EP，FP)的縫隙。