[發(fā)明專利]一種使用等離子體交聯(lián)技術制備多層有機電子器件的方法在審

申請?zhí)枺?/td>	201510220143.8	申請日：	2015-05-04
公開（公告）號：	CN104882544A	公開（公告）日：	2015-09-02
發(fā)明（設計）人：	何孔多;區(qū)瓊榮;梁榮慶	申請（專利權）人：	復旦大學
主分類號：	H01L51/48	分類號：	H01L51/48;H01L51/56
代理公司：	上海正旦專利代理有限公司 31200	代理人：	陸飛;盛志范
地址：	200433 ***	國省代碼：	上海;31
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種使用等離子體交聯(lián) 技術制備多層有機電子器件方法
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【權利要求書】：

1.?一種使用等離子體交聯(lián)技術制備多層有機電子器件的方法，其特征在于具體步驟為：

（1）用有機溶劑配置有機功能材料的溶液，在襯底或電極表面利用溶液法制備第一層有機功能薄膜，薄膜厚度根據(jù)器件要求而定，然后真空干燥；

（2）將步驟（1）獲得的第一層有機功能薄膜進行等離子體交聯(lián)技術處理，即放置在等離子體環(huán)境中，進行反應，等離子體功率為10-500W，處理時間為5-1000S；

（3）將步驟（2）處理后的薄膜取出，并在第一層薄膜上面利用溶液法制備第二層有機功能薄膜，然后真空干燥；

（4）根據(jù)器件類型和要求，重復步驟（2）和（3），制備多層有機功能薄膜；

（5）最后，在上述制備的多層功能薄膜上蒸鍍薄膜或制備電極，獲得完整的多層結構有機電子器件。

2.?按照權利要求1所述的方法，其特征在于，所述有機電子器件為有機電致發(fā)光器件、有機光伏電池、有機場效應晶體管、有機半導體激光器或有機光電探測器。

3.?按照權利要求1所述的方法，其特征在于，所述有機溶劑為氯苯、甲苯、四氫呋喃、二氯甲烷、三氯甲烷、四氯化碳、苯、對二甲苯、二氯苯、丙酮、乙醇中一種或其中幾種。

4.?按照權利要求1所述的方法，其特征在于，所述有機功能材料為氧化石墨烯、碳納米管、TcTa、PVK、BCP、mCP、SimCP2、26DCzPPy、SPPO21、TAPC、Ir(ppy)₃、Ir(ppy)₂(acac)、FIrPic、OXD-7、BPhen、TFB、Poly-TPD、PFO、PFN-DOF、MEH-PPV、P3HT、PCBM、F8BT中一種，或其中幾種。

5.?按照權利要求1所述的方法，其特征在于，所述溶液法包括旋涂法、噴墨打印、狹縫涂布、絲網(wǎng)印刷、刮涂法。

6.?按照權利要求1所述的方法，其特征在于，涉及等離子體的產(chǎn)生方法，產(chǎn)生等離子體的方法有介質(zhì)阻擋放電、感應耦合等離子體、電容耦合等離子體、微波等離子體或表面波等離子體。

7.?按照權利要求6所述的方法，其特征在于，產(chǎn)生等離子體的氣體為He、Ne、Ar、Xe、N₂、H₂、NH₃、N₂H₄、鹵素化合物氣體、有機化合物氣體、硅烷、腈類化合物、含環(huán)狀烷氧基類化合物中的一種，或其中幾種混合氣體。

8.?按照權利要求7所述的方法，其特征在于，所述鹵素化合物氣體為CF₄、CHF₃、C₂F₄、C₃F₆、C₄F₈中的一種，或其中幾種混合氣體；所述有機化合物氣體為CH₄、C₂H₄、C₂H₂、C₃H₆、苯乙烯中的一種，或幾種混合氣體；所述腈類化合物為氰化氫(氫氰酸)乙腈、丙烯腈、丙酮氰醇、偶氮二異丁腈或異氰酸酯。