[發明專利]使用干涉測量法測量振蕩的方法有效
| 申請號： | 201510217532.5 | 申請日： | 2015-04-30 |
| 公開（公告）號： | CN105136066B | 公開（公告）日： | 2017-10-27 |
| 發明（設計）人： | 金愍手;尹都永;樸種寬;金兌昱;樸喜載 | 申請（專利權）人： | SNU精密股份有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/25 | 分類號： | G01B11/25;G01H9/00 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司31100 | 代理人： | 徐偉 |
| 地址： | 韓國忠*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 使用 干涉 測量 振蕩 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種使用干涉測量法測量振蕩的方法，其中，干涉儀向物體發射光以產生干涉條紋，并且所述干涉儀獲取所述干涉條紋的圖像以測量所述物體，所述方法包括：
針對以預定周期振蕩的所述物體，每隔特定時間間隔順序地獲取所述物體的圖像；
計算多個所獲取的圖像內的莫爾圖案的左右移動寬度；
基于所述莫爾圖案中的相鄰圖案之間的距離、發射到所述物體的光的波長以及所述莫爾圖案的所述左右移動寬度來計算所述物體的振幅；以及
基于返回時間計算所述物體的周期，其中在所述返回時間期間，所述莫爾圖案在所述莫爾圖案的所述左右移動寬度內從初始位置開始并且返回到所述初始位置；
其中，計算所述振幅包括通過以下表達式來計算所述物體的所述振幅：
x:λ/2＝y:2A
其中，x為所述莫爾圖案中的所述相鄰圖案之間的距離，λ為發射到所述物體的所述光的波長，y為所述莫爾圖案的所述左右移動寬度，以及A為所述物體的振幅。
2.根據權利要求1所述的使用干涉測量法測量振蕩的方法，其中，計算所述周期包括基于在所述返回時間內獲取的圖像的數目與用于獲取所述圖像的所述特定時間間隔之間的相乘結果來計算所述物體的所述周期。
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