[發明專利]一種靜電力驅動的微型超聲電機

有效

• 申請號: 201510210237.7
• 申請日: 2015-04-28
• 公開（公告）號: CN104883089B
• 公開（公告）日: 2017-02-01
• 發明（設計）人: 郭明森;趙淳生
• 申請（專利權）人: 南京航空航天大學
• 主分類號: H02N1/00
• 分類號: H02N1/00
• 代理公司: 江蘇圣典律師事務所32237
• 代理人: 賀翔

1.一種靜電力驅動的微型超聲電機，其特征在于，包括：硅基定子、轉子、軸承和彈性預壓力裝置，所述硅基定子上表面設有一齒狀凸起；所述轉子的一端套設于軸承內作旋轉運動，所述轉子與所述硅基定子的齒狀凸起相接觸；所述彈性預壓力裝置沿軸向施加預壓力于轉子，使轉子與硅基定子間產生法向壓力，所述硅基定子在驅動電壓作用下產生超聲振動，硅基定子的齒狀凸起通過摩擦力驅動轉子旋轉。

2.根據權利要求1所述的靜電力驅動的微型超聲電機，其特征在于，所述的硅基定子為一個復合結構體，其基底為低電阻率硅片，基底的上表面刻蝕出一個環形凹槽，基底的上表面和環形凹槽內表面覆蓋二氧化硅絕緣層，一個高電阻率硅膜片與基底的上表面鍵合并封閉凹槽形成真空腔體，所述高電阻率硅膜片上表面設置有第一金屬電極和所述的齒狀凸起。

3.根據權利要求2所述的靜電力驅動的微型超聲電機，其特征在于，所述硅基定子的基底、真空腔體、第一金屬電極之間形成平行板電容，在交流電壓作用下，第一金屬電極與基底之間變化的靜電力引起硅膜片的振動。

4.根據權利要求2所述的靜電力驅動的微型超聲電機，其特征在于，所述硅基定子的真空腔體上的環形硅膜片中有沿圓周方向傳播的彎曲振動行波，通過接觸摩擦驅動所述轉子旋轉。