[發(fā)明專利]一種基于電熱驅(qū)動(dòng)的MEMS旋轉(zhuǎn)執(zhí)行器在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201510209964.1 | 申請(qǐng)日： | 2015-04-28 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN106145027A | 公開(kāi)（公告）日： | 2016-11-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 劉澤文;王波林 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 蘇州希美微納系統(tǒng)有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B81B7/02 | 分類號(hào)： | B81B7/02;B81B5/00 |
| 代理公司： | 蘇州唯亞智冠知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32289 | 代理人： | 高玉蓉 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 基于 電熱 驅(qū)動(dòng) mems 旋轉(zhuǎn) 執(zhí)行 | ||
【權(quán)利要求書】：
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