[發明專利]無摩擦力線夾在審
| 申請號: | 201510207848.6 | 申請日: | 2015-04-29 |
| 公開(公告)號: | CN104934358A | 公開(公告)日: | 2015-09-23 |
| 發明(設計)人: | 陳文;田志;李朝軍 | 申請(專利權)人: | 田志 |
| 主分類號: | H01L21/687 | 分類號: | H01L21/687 |
| 代理公司: | 杭州杭誠專利事務所有限公司 33109 | 代理人: | 尉偉敏 |
| 地址: | 450053 河南省鄭州市金水區東*** | 國省代碼: | 河南;41 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 摩擦力 | ||
技術領域
本發明涉及一種線夾,具體涉及一種制造或處理半導體芯片的設備,特別是鍵合設備或鍵合機上的線夾。本發明屬于機械制造領域。
背景技術
鍵合是把電路芯片上已金屬化的電路引出端或電極與裝配芯片的金屬引線框架或外殼引出電極線一一對應連接起來的焊接工藝。作為鍵合設備的一種,鍵合機通過陶瓷細管(劈刀)引導金屬引線(金線、銅線、鋁線等)在三維空間中作復雜高速的運動,形成各種滿足不同封裝形式需要的線弧。
鍵合機主要包括:XY工作平臺、鍵合頭、物料夾持臺、上下料裝置等部件。鍵合機在工作過程中,由Z向電機驅動的鍵合頭,配合精密XY運動平臺,引導金屬線在三維空間作復雜高速的運動,以便形成各種滿足不同芯片封裝所需的線弧。線夾固定于鍵合頭上,是鍵合頭上的關鍵部件,其在鍵合過程中不斷張開與閉合,以實現拉斷金線,開始下一個周期的鍵合工藝,完成芯片焊盤與封裝管腳的鍵合連接。
近些年來,鍵合機的速度逐漸加快,這就要求與之配合的線夾也需要具有以下幾個典型特點:
非常快的響應速度,同時具有控制夾緊力的能力,從而在鍵合的過程中不至于夾傷金屬引線(金線、銅線、鋁線等)。
由于線夾固定在鍵合頭上,隨著鍵合頭做上下往復高速、高加速度的Z向運動,因此要求線夾質量盡量的輕,靜態與動態都具有高剛性。避免在運動中產生振動而影響鍵合質量。
由于鍵合速度的提高,線夾夾緊部分需要開合的頻率每秒多達30次以上,需具有結構簡單、開合阻力小、線夾整體可靠性高。
目前一般的線夾,參照圖1,包括固定臂29、動臂35、夾片25、26等,線夾采用音圈電機34驅動,固定臂29通過螺釘孔30用螺釘固定于鍵合頭上,固定臂29前端裝有用于夾持鍵合金屬線27的夾片26,通過螺釘31固定臂29另一端裝有音圈電機34的定子部分,動臂35端部裝有用于夾持鍵合金屬線27的夾片25,動臂35另一端裝有音圈電機34的動子線圈33,固定臂29與動臂35通過樞軸36相互連接,拉伸彈簧28兩端分別固定于固定臂29與動臂35上,位于線夾夾持端與樞軸36之間,一方面起到拉緊固定臂29與動臂35的作用,另一方面起到給線夾夾持鍵合金屬線27一個預夾緊力,讓線夾處于常閉狀態;音圈電機34驅動動臂35做θ向繞樞軸36的旋轉運動,從而使得動臂35在端部產生θ’的開合動作,從而達到松開與夾緊鍵合金屬線27的功能。這種結構的線夾采用樞軸36結構,雖然采用高硬度的耐磨材料,但是不可不免的還是有摩擦力,并且在使用過程中不斷磨損,隨著使用時間的加長,摩擦力也在變化。為了讓夾持鍵合金屬線27得到一致的夾緊力,需要不定時的調整音圈電機34的驅動參數,同時這種線夾結構復雜,給整個鍵合機的穩定性與可靠性帶來隱患。
發明內容
為解決現有技術的不足,本發明的目的在于提供一種無摩擦力線夾,以解決現有技術線夾開合過程具有摩擦力,引起夾持力變化,影響鍵合質量,開合間隙不可調、夾緊力不可控的技術問題。
為了實現上述目標,本發明采用如下的技術方案:
一種無摩擦力線夾,包括固定臂、動臂、驅動裝置,其特征在于,還包括:彈性樞軸,固定臂和動臂之間通過彈性樞軸相連,使得動臂圍繞彈性樞軸進行旋轉;驅動裝置用于驅動動臂圍繞彈性樞軸旋轉,使固定臂端部和動臂端部之間產生開、合動作。
前述的一種無摩擦力線夾,其特征在于,所述彈性樞軸還用于提供固定臂端部和動臂端部之間的預夾緊力,使得固定臂端部和動臂端部之間處于常閉狀態。
前述的一種無摩擦力線夾,其特征在于,所述彈性樞軸為簧片。
前述的一種無摩擦力線夾,其特征在于,所述固定臂上安裝用于夾持金屬線的第一夾片,動臂上安裝有用于夾持金屬線的第二夾片。
前述的一種無摩擦力線夾,其特征在于,所述固定定臂上安裝有用于調節線夾打開幅度的限位塊。
前述的一種無摩擦力線夾,其特征在于,所述動臂上安裝有用于調節線夾打開幅度的止動塊。
前述的一種無摩擦力線夾,其特征在于,還包括拉伸彈簧,所述拉伸彈簧的一端固定在固定臂上,另一端固定在動臂上。
前述的一種無摩擦力線夾,其特征在于,所述驅動裝置為驅動電機,所述驅動電機包括第一電機定子、第二電機定子、位于第一電機定子和第二電機定子之間的電機動子;第一電機定子、第二電機定子分別與固定臂固定相連;電機動子與動臂固定相連。
前述的一種無摩擦力線夾,其特征在于,所述驅動裝置為螺線管,所述螺線管包括第一部分和第二部分,所述第一部分固定于動臂上,所述第二部分固定于固定臂上。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于田志,未經田志許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201510207848.6/2.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 同類專利
- 專利分類
H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





