[發明專利]顯微鏡頭與包括該顯微鏡頭的顯微鏡系統

有效

• 申請號: 201510203492.9
• 申請日: 2015-04-24
• 公開（公告）號: CN104765137B
• 公開（公告）日: 2017-09-08
• 發明（設計）人: 郭興奎;王海濤;翟建剛
• 申請（專利權）人: 合肥京東方光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G02B21/00
• 分類號: G02B21/00;G02B21/04;G02B21/06;G02F1/13
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司11021
• 代理人: 周晨

技術領域

本發明涉及光學顯微技術領域，尤其涉及用于在TFT-LCD領域的陣列基板維修制程中全方位分析和觀察被觀察對象缺陷的顯微鏡頭以及包括該顯微鏡頭的顯微鏡系統。

背景技術

在TFT-LCD領域中，通常采用現有陣列基板維修設備中的顯微鏡系統分析和觀察作為被觀察對象(例如玻璃基板)的平面圖像信息(例如缺陷)。具體地，如圖1所示，在現有顯微鏡系統中，入射光線L1垂直于載物臺1通過顯微鏡頭2入射至被觀察對象3表面，而反射光線L2則從被觀察對象3表面反射回來，再次通過顯微鏡頭2，從而進入照相機(未圖示)，以經由光電轉換器件在顯示器上顯示關于被觀察對象3表面的圖像信息。然而，通過上述觀察分析系統和方法，只能得到被觀察對象(例如玻璃基板)的平面圖像信息，而不能獲得其高度、形貌等其他信息，從而無法清晰和全面地辨識被觀察對象上的缺陷，進而易造成錯判或過判，對良率的準確統計造成影響。更有甚者，會對后續工序設備及工藝造成嚴重影響。

因此，業界亟待一種改善后的顯微鏡頭以及包括該顯微鏡頭的顯微鏡系統。

發明內容

本發明旨在克服或者減輕上述現有使技術中存在的至少一個或多個技術問題。

因此，本發明的至少一個目的在于提供一種顯微鏡頭，其能夠改善對被觀察對象(例如玻璃基板)上的缺陷的觀察和識別，從而提高良率的準確性。

而本發明的另一個目的在于提供一種顯微鏡系統，其能夠改善對被觀察對象(例如玻璃基板)上的缺陷的觀察和識別，從而提高良率的準確性。

根據本發明的一個方面，本發明提供了一種顯微鏡頭，該顯微鏡頭具有目鏡端和物鏡端，其中，目鏡端的中心軸線和物鏡端的中心軸線相交，并且顯微鏡頭還包括設置在目鏡端和物鏡端之間的反光鏡，以使入射光線和/或出射光線在目鏡端和物鏡端之間經由反光鏡的反射而入射和/或出射。

優選地，反光鏡相對于目鏡端的中心軸線的傾斜角度被設置成為入射光線的入射角度或出射光線的出射角度的一半。

優選地，反光鏡包括環形反射面，入射光線和/或出射光線經由環形反射面的反射而入射和/或出射。

優選地，反光鏡與目鏡端和物鏡端彼此獨立，或者反光鏡與目鏡端和物鏡端為一體的。

優選地，顯微鏡頭還包括自帶光源，自帶光源以圍繞方式設置在物鏡端內部。

優選地，自帶光源包括自帶電源的LED光源或用于引入外部光源的光纖。

優選地，自帶電源為片狀電池和/或環狀電池。

根據本發明的另一個方面，本發明提供了一種顯微鏡系統，該顯微鏡系統包括：

用于承載被觀察對象的載物臺；

如上所述的顯微鏡頭，用于觀察位于載物臺上的被觀察對象；以及

顯微鏡頭旋轉機構，用于進行顯微鏡頭相對于位于載物臺上的被觀察對象的360°環形旋轉，從而實現對被觀察對象的360°全方位觀察。

優選地，顯微鏡頭旋轉機構包括環形軌道，顯微鏡頭可移動地設置在環形軌道上。

優選地，顯微鏡頭通過齒輪機構設置在環形軌道上。

優選地，顯微鏡頭旋轉機構還包括用于驅動顯微鏡頭的驅動電機。

根據本發明的又一個方面，本發明提供了一種顯微鏡系統，該顯微鏡系統包括：

用于承載被觀察對象的載物臺；

如上所述的顯微鏡頭，用于觀察位于載物臺上的被觀察對象；以及

顯微鏡頭旋轉驅動機構，用于使得顯微鏡頭繞其目鏡端的中心軸線旋轉。

優選地，顯微鏡頭旋轉驅動機構還包括用于驅動顯微鏡頭旋轉的驅動電機。

由上可知，本發明提供的顯微鏡頭和顯微鏡系統，至少取得了如下技術效果：首先，通過在顯微鏡頭內部設置特定角度反光鏡，改變光路，達到特定角度的顯微立體觀察；其次，通過在顯微鏡頭內部設置光源，起到增強光線的效果；再者，通過在顯微鏡系統中設置鏡頭旋轉機構，實現顯微鏡頭對被觀察對象的360°全方位觀察。因此，本發明提供的顯微鏡頭和顯微鏡系統，能夠改善對被觀察對象(例如玻璃基板)上的缺陷的觀察和識別，從而提高良率的準確性，進而避免對后續工序設備及工藝造成嚴重影響。

本發明能夠實現的其它發明目的以及可以取得的其它技術效果將在下述的具體實施方式中結合對具體實施例的描述和附圖的示意進行闡述。

附圖說明

為了讓本發明的上述和其它目的、特征及優點能更加明顯易懂，下面結合附圖和具體實施方式對本發明作進一步說明。

圖1是傳統顯微鏡系統的工作原理和結構示意圖；