[發(fā)明專利]輥道式太陽電池?zé)Y(jié)和輻照退火一體連續(xù)爐有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201510203266.0 | 申請日: | 2015-04-25 |
| 公開(公告)號: | CN104810309B | 公開(公告)日: | 2018-02-09 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 袁向東;許穎;袁瑒 | 申請(專利權(quán))人: | 北京金晟陽光科技有限公司;萊蕪金晟陽光精密設(shè)備有限公司;袁向東 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L31/18;F27B9/02;F27B9/06;F27B9/24;F27B9/36 |
| 代理公司: | 青島發(fā)思特專利商標(biāo)代理有限公司37212 | 代理人: | 馬俊榮 |
| 地址: | 100102 北京市朝陽區(qū)北苑路*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 輥道式 太陽電池 燒結(jié) 輻照 退火 一體 連續(xù) | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種輥道式太陽電池?zé)Y(jié)和輻照退火一體連續(xù)爐,可用于太陽電池的燒結(jié)和輻照退火處理。
背景技術(shù)
在太陽電池的整個生產(chǎn)工藝流程中,擴散、印刷和燒結(jié)三道工序是最主要的。其中,燒結(jié)工藝主要用于烘干印刷在硅片表面的漿料,燒掉從漿料中揮發(fā)出的有機溶劑,同步燒結(jié)太陽電池硅片的正反面,使印刷至硅片上漿料中的金屬電極與硅片形成良好的歐姆接觸,燒結(jié)質(zhì)量的好壞直接影響太陽電池的轉(zhuǎn)換效率。通常情況下,太陽電池用鏈?zhǔn)綗Y(jié)爐燒結(jié)后,即可做成組件,投入太陽能電站使用。
太陽電池因為硼氧對的存在,在使用過程中長期光照環(huán)境下會發(fā)生效率衰減,尤其是近幾年興起的PERC電池,這種衰減尤為嚴(yán)重。研究表明,預(yù)先使用一種特定的光源在一定溫度條件下對電池片進(jìn)行輻照退火處理,會有效防止這種衰減現(xiàn)象發(fā)生。但是,目前尚沒有專門對電池片進(jìn)行輻照退火處理的設(shè)備。
為此,申請人發(fā)明了一種輥道式太陽電池?zé)Y(jié)和輻照退火一體連續(xù)爐,使電池片在輥式爐中完成燒結(jié)后、直接連續(xù)完成輻照退火處理,從根本上解決輻照退火工藝的規(guī)?;a(chǎn)問題。
發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)以上現(xiàn)有技術(shù)的不足,本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是:提供一種輥道式太陽電池?zé)Y(jié)和輻照退火一體連續(xù)爐,從根本上解決輻照退火工藝的規(guī)?;a(chǎn)問題,從而最大限度地解決太陽電池在使用過程中的衰減問題。
本發(fā)明所述的輥道式太陽電池?zé)Y(jié)和輻照退火一體連續(xù)爐,由上料區(qū)、燒結(jié)區(qū)、燒結(jié)冷卻區(qū)、輻照退火區(qū)、退火冷卻區(qū)和下料區(qū)組成,電池片在一組水平排列的輥道上傳輸,并依次經(jīng)過上述各區(qū),一次性完成太陽電池的燒結(jié)和輻照退火過程。
在所述的輥道的上方設(shè)置有光源、在輥道的下方設(shè)置有加熱裝置,或者在輥道的下方設(shè)置有光源、在輥道的上方設(shè)置有加熱裝置,電池片在傳輸過程中,其正面朝向光源,其背面朝向加熱裝置。
所述的光源為鹵素?zé)?、氙燈、白熾燈或LED燈。
所述的加熱裝置為紅外燈管、電熱絲或熱風(fēng)機。
在所述光源與電池片之間,設(shè)置一層透光隔熱材料層,將光源隔離在電池片加熱區(qū)域之外。
在安裝光源的腔室內(nèi),設(shè)置有對光源進(jìn)行冷卻的吹風(fēng)冷卻裝置或排風(fēng)裝置,對光源進(jìn)行冷卻。
所述的透光隔熱材料層材質(zhì)為石英玻璃或鋼化玻璃。
通過加熱裝置對電池片的加熱溫度是100℃—300℃,優(yōu)選150℃—250℃
優(yōu)選的是,光源的輻照度是50mW/cm2—200mW/cm2,80mW/cm2—150mW/cm2。
所述輥道的材質(zhì)為石英陶瓷、石英玻璃、氧化鋁陶瓷、氮化硅陶瓷、不銹鋼或鋁合金等對電池片沒有污染、耐高溫的材料。
所述的輥道為實心輥道或空心輥道,輥道的形狀為等徑的圓柱狀、臺階狀、圓錐臺狀、螺紋狀或圓環(huán)狀,輥道可以單向轉(zhuǎn)動、也可以往復(fù)轉(zhuǎn)動。
在燒結(jié)冷卻區(qū)和輻照退火區(qū)之間,設(shè)置有緩沖區(qū),緩沖區(qū)內(nèi)設(shè)置有可對燒結(jié)后的電池片進(jìn)行加熱及保溫的加熱保溫裝置,或者緩沖區(qū)內(nèi)設(shè)置將燒結(jié)后的電池片暫時存儲的儲存裝置,或者緩沖區(qū)內(nèi)設(shè)置將燒結(jié)后的電池片單列分成多列傳輸?shù)捷椪胀嘶饏^(qū)的分列裝置。在緩沖區(qū)可以保持一定的溫度將燒結(jié)后的電池片直接送入輻照退火區(qū),也可以將燒結(jié)后的電池片暫時存儲,也可以將單列分成多列傳輸?shù)捷椪胀嘶饏^(qū)。
所述的緩沖區(qū)加熱保溫裝置的設(shè)定溫度是50℃—200℃。
與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明具有的有益效果是:
本發(fā)明提供的輥道式太陽電池?zé)Y(jié)和輻照退火一體連續(xù)爐,將燒結(jié)工藝和輻照退火工藝有機地組合在一起、形成一條連續(xù)的生產(chǎn)線,并且電池片通過一組水平排列的輥道連續(xù)傳輸、在水平行進(jìn)過程中連續(xù)完成燒結(jié)和輻照退火處理,具有能耗低、運行平穩(wěn)、產(chǎn)能大、連續(xù)化生產(chǎn)的特點,推廣應(yīng)用后,可以最大限度地解決太陽電池使用過程中衰減的問題。
附圖說明
圖1是本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖
圖中:1、上料區(qū);2、燒結(jié)區(qū);3、燒結(jié)冷卻區(qū);4、緩沖區(qū);5、輻照退火區(qū);6、退火冷卻區(qū);7、下料區(qū);8、電池片;9、輥道;10、加熱裝置;11、光源;12、透光隔熱材料層。
具體實施方式
下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的實施例做進(jìn)一步描述。
實施例1
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





