[發(fā)明專利]一種中紅外探測器及其制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510199477.1
• 申請日: 2015-04-24
• 公開（公告）號: CN104900744B
• 公開（公告）日: 2017-01-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 原子健
• 申請（專利權(quán)）人: 原子健
• 主分類號: H01L31/09
• 分類號: H01L31/09;H01L31/032;H01L21/02;H01L31/18
• 代理公司: 鄭州中原專利事務(wù)所有限公司41109
• 代理人: 李想

1.一種中紅外探測器，包括襯底、鉛鹽薄膜和鈍化層，其特征在于：所述鉛鹽薄膜由如下原料制成：硒代硫酸鈉溶液、醋酸鉛溶液、氫氧化鉀水溶液和可溶性淀粉溶液；其中，硒代硫酸鈉溶液、醋酸鉛溶液、氫氧化鉀水溶液和可溶性淀粉溶液的質(zhì)量體積百分比濃度之比為1：（0.8～3.5）：（0.5～25）：（0.0001～0.001）；硒代硫酸鈉溶液、醋酸鉛溶液、氫氧化鉀水溶液和可溶性淀粉溶液的體積比為1：（0.5～2.0）：（0.5～4）：（0.01～0.1）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的中紅外探測器，其特征在于：所述硒代硫酸鈉溶液的質(zhì)量體積百分比濃度為2～200g/L。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的中紅外探測器，其特征在于：所述襯底為石英、普通玻璃、超白玻璃、氟化鈣或表面氧化的硅片。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的中紅外探測器的制備方法，其特征在于由如下步驟組成：

襯底的清洗：將襯底按照標(biāo)準(zhǔn)清洗工藝清洗干凈，高純氮?dú)獯蹈珊蟾稍飪?chǔ)存；

沉積溶液的配置：于攪拌速度300～500rpm攪拌下，按照上述配方將醋酸鉛溶液投入氫氧化鉀水溶液中，攪拌至反應(yīng)完全，以9～12mL/min的滴加速度依次滴加硒代硫酸鈉溶液和可溶性淀粉溶液，攪拌均勻后得到無色透明的沉積溶液；

鉛鹽薄膜基片的制備：首先將步驟（2）得到的沉積溶液移入沉積容器中，沉積容器置于溫度為50～100℃水浴中，接著將步驟（1）得到的襯底懸掛在沉積溶液的中部，于攪拌速度為30～50rpm下攪拌沉積2.5～3h得到鉛鹽薄膜基片；

退火處理：將步驟（3）得到的鉛鹽薄膜基片置于退火爐中于溫度為300～500℃下退火處理30～90min；

鈍化保護(hù)：將步驟（4）退火后的鉛鹽薄膜基片進(jìn)行鍍膜處理；

將步驟（5）鈍化保護(hù)后的鉛鹽薄膜基片進(jìn)行切割、封裝得到產(chǎn)品。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的中紅外探測器的制備方法，其特征在于：步驟（5）中鍍膜選用的試劑為硫化鋅、二氧化硅或氟化鈣。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的中紅外探測器的制備方法，其特征在于：步驟（5）中鍍膜選用鍍膜機(jī)為熱蒸發(fā)、磁控濺射或電子束蒸發(fā)。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的中紅外探測器的制備方法，其特征在于：步驟（6）封裝采用標(biāo)準(zhǔn)TO系列封裝工藝。