[發明專利]片間互連結構、片間互連結構的制造方法及封裝結構在審
| 申請號： | 201510181279.2 | 申請日： | 2015-04-16 |
| 公開（公告）號： | CN106158828A | 公開（公告）日： | 2016-11-23 |
| 發明（設計）人： | 劉子玉;蔡堅;王謙;鄒貴生;劉磊 | 申請（專利權）人： | 清華大學 |
| 主分類號： | H01L23/538 | 分類號： | H01L23/538;H01L21/768;B82Y40/00;B81B1/00;B81C1/00;B81C3/00 |
| 代理公司： | 北京英創嘉友知識產權代理事務所(普通合伙) 11447 | 代理人： | 南毅寧;桑傳標 |
| 地址： | 100084*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 互連 結構 制造 方法 封裝 | ||
【權利要求書】：
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