[發明專利]脆性材料基板的搬送方法及搬送裝置

在審

• 申請號: 201510178389.3
• 申請日: 2015-04-15
• 公開（公告）號: CN105270889A
• 公開（公告）日: 2016-01-27
• 發明（設計）人: 村上健二;武田真和;田村健太;音田健司;木下知子;秀島護
• 申請（專利權）人: 三星鉆石工業股份有限公司
• 主分類號: B65H3/08
• 分類號: B65H3/08;B65H3/48
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 沈錦華

技術領域

本發明涉及一種在搬送陶瓷基板、半導體基板等脆性材料基板時所使用的搬送方法及搬送裝置。

背景技術

將脆性材料基板、例如陶瓷基板或氧化鋁基板在制造步驟中在規定的框狀部分積層多層，為了進行刻劃等而逐片取出并搬送，為了進行刻劃或裂斷而使用在搬送軸的前端具有吸附墊的搬送裝置。在專利文獻1中公開了一種搬送機構，為了搬送脆性材料基而使支撐臂與基板接觸并利用真空進行吸附，通過使支撐臂移動而搬送基板。

[背景技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2013-177309號公報

發明內容

[發明要解決的問題]

在進行刻劃之前積層并保持多片脆性材料基板。在這種情況下如果使用吸附墊進行吸附，那么有因密接性而同時吸附兩片脆性材料基板，并同時搬送兩片脆性材料基板的情況。如果開始同時搬送兩片脆性材料基板，那么有在搬送的中途下方的基板脫落或保持原狀被搬送至刻劃裝置為止，而無法進行刻劃的問題。

為了解決所述問題，考慮使用靜電消除器從所積層的基板去除靜電，但有即便使用靜電消除器也無法充分地防止搬送兩片基板的問題。

本發明是著眼于這種問題而完成的，其目的在于可以從積層并保持的基板確實地提起僅一片基板。

[解決問題的技術手段]

為了解決該問題，本發明的脆性材料基板的搬送方法是搬送脆性材料基板的搬送方法，利用吸附墊吸引所述脆性材料基板，通過使所述吸附墊上升而使所吸附的脆性材料基板上升，在使所述吸附墊上升時從鄰接于脆性材料基板的位置自噴嘴集中地噴出空氣，通過使所述吸附墊移動而搬送所述脆性材料基板。

為了解決該問題，本發明的脆性材料基板的搬送裝置是搬送脆性材料基板的搬送裝置，具備：線性滑塊，設置于梁；搬送頭，構成為沿著所述線性滑塊移動自如；吸附墊，安裝在所述搬送頭的下表面且吸附所述脆性材料基板；抽風器，從所述搬送頭的吸附墊抽吸空氣；基板保持部，積層并保持所述脆性材料基板；噴嘴，鄰接于所述基板保持部而安裝，且朝向上升的所述脆性材料基板而設置；以及壓縮泵，經由導管而連結在所述噴嘴，從所述噴嘴噴出空氣。

[發明效果]

根據具有這種特征的本發明，從積層著脆性材料基板的基板保持部利用吸附墊吸附并搬送最上部的基板。而且，在將基板吸附并保持該狀態垂直地提起時，即便兩片基板密接，也會因從側方自噴嘴吹送壓縮空氣，而可使基板的密接脫離，使下方的基板返回至基板保持部。因此，可獲得能夠確實地搬送僅一片基板的效果。

附圖說明

圖1是表示實現本發明的實施方式的搬送裝置的整體構成的立體圖。

圖2是表示實現本發明的實施方式的搬送裝置的整體構成的前視圖。

圖3是表示本實施方式中所使用的集塵機的一例的立體圖。

圖4(a)～(c)是表示利用本發明的實施方式的搬送頭吸附并搬送基板的狀態的圖。

圖5(a)～(c)是表示在利用本實施方式的搬送頭吸附并搬送基板的情況下吸附著兩片基板的狀態的圖。

具體實施方式

對作為本發明的實施方式的搬送裝置進行說明。圖1是表示實現本實施方式的搬送裝置的整體構成的立體圖，圖2是表示實現本實施方式的搬送裝置的整體構成的前視圖。如這些圖所示，在搬送裝置10中利用未圖示的支架水平地保持梁11，在該梁11上設置著線性滑塊12。線性滑塊12使刻劃頭13與搬送頭14一體地沿著梁11自如地動作。在搬送裝置10的基座上設置著如下部件：基板保持部15，積層并保持脆性材料基板(以下也簡稱為基板)；刻劃臺16，供刻劃基板；及排出平臺17，供排出已刻劃的基板。搬送頭14是從基板保持部15將基板吸引并搬送至圖中右側的刻劃平臺16及排出平臺17。

這里，將脆性材料基板20設為例如厚度為0.6mm的陶瓷基板或氧化鋁基板。在基座的基板保持部15，如圖示般在四方豎立著保持板21，在保持板21之間堆積著多片大致正方形狀的脆性材料基板20。該基板20被從基板保持部15逐片取出，搬送至鄰接的刻劃臺16。

接著，對搬送頭14進行詳細說明。在搬送頭14，設置著利用滑塊31而進行升降的平板32，與該平板32垂直地安裝著搬送軸33。在搬送軸33的下端安裝著吸附墊34。搬送軸33為中空的部件，且安裝著圖3所示的導管35，在導管35的前端連結著集塵機的抽風器36。此外，這里雖使用集塵機，但也可以單獨使用抽風器36。通過驅動集塵機的抽風器36，可以經由所連結的導管35從吸附墊34吸引空氣，而將基板吸附。