[發(fā)明專利]全頻段高精度非球面光學(xué)元件的加工方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510149320.8
• 申請日: 2015-04-01
• 公開（公告）號: CN104772661B
• 公開（公告）日: 2017-12-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 邵建達;張逸中;魏朝陽;胡晨;張海超
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所
• 主分類號: B24B1/00
• 分類號: B24B1/00
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司31213
• 代理人: 張澤純,張寧展

1.一種全頻段高精度非球面光學(xué)元件的加工方法，其特征在于，該方法包括以下步驟：

步驟1)將待加工非球面元件銑磨成形后，用干涉儀測量非球面面形誤差；

步驟2)根據(jù)測得的面形誤差，選擇口徑大小不大于該非球面直徑1/4的柔性拋光小工具，再根據(jù)該小工具在不同公自轉(zhuǎn)速度條件下的去除函數(shù)的形狀，選擇類高斯型去除函數(shù)，確定數(shù)控機床的加工參數(shù)；

步驟3)將待加工非球面元件放置在機床的加工平臺上，將加工參數(shù)輸入到機床控制中心，按變步距螺旋加工路徑進行拋光工藝；

步驟4)一個周期拋光結(jié)束后，對待加工非球面元件進行面形檢測，根據(jù)面形誤差數(shù)據(jù)的反饋情況，重復(fù)步驟2)、3)、4)直至非球面的低頻面形精度達標；

步驟5)對低頻面形精度達標的面形數(shù)據(jù)進行PSD分析，根據(jù)PSD曲線確定的中高頻誤差頻率分布特征，選擇口徑大小不小于非球面直徑1/3的大口徑柔性拋光小工具，再對非球面元件進行光順工藝加工，重復(fù)數(shù)次直至中高頻誤差得到有效控制；

所述的柔性拋光小工具包括金屬底盤(1)、發(fā)泡硅膠板(2)和瀝青拋光層(3)，通過機床提供的壓力，實現(xiàn)拋光小工具與非球面表面的實時吻合；

所述的光順工藝是小工具采用單自轉(zhuǎn)運動方式并勻速平滑待加工面的工藝，能在保證低頻面形的同時，有效的平滑待加工面，提高表面質(zhì)量。