[發(fā)明專利]玻璃基板的制造方法、及玻璃基板的制造裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510149149.0
• 申請(qǐng)日: 2015-03-31
• 公開（公告）號(hào): CN104944748B
• 公開（公告）日: 2017-10-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 中嶋公彥
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 安瀚視特控股株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C03B17/06
• 分類號(hào): C03B17/06
• 代理公司: 北京律盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司11287
• 代理人: 林斯凱

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種玻璃基板的制造方法、及玻璃基板的制造裝置。

背景技術(shù)

以往，一直使用利用下拉法制造玻璃基板的方法。下拉法是在使熔融玻璃流入到成形體之后，使該熔融玻璃從成形體溢流。之后熔融玻璃沿著成形體流下。熔融玻璃在成形體的下端部合流，之后，離開成形體而成為片狀的玻璃(薄片玻璃)。薄片玻璃在流下的過程中被爐內(nèi)的氛圍冷卻。之后，薄片玻璃被切斷成所期望的大小，進(jìn)而被加工而成為玻璃基板。例如，專利文獻(xiàn)1中公開了如下技術(shù)：為了制造翹曲品質(zhì)良好的玻璃基板，而在薄片玻璃的寬度方向的兩側(cè)部以對(duì)向的方式設(shè)置冷卻裝置，且以該兩側(cè)部在達(dá)到緩冷點(diǎn)附近的溫度區(qū)域內(nèi)成為規(guī)定粘度的方式進(jìn)行控制。

[背景技術(shù)文獻(xiàn)]

[專利文獻(xiàn)]

[專利文獻(xiàn)1]日本專利5154713號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

[發(fā)明要解決的問題]

然而，如果將薄片玻璃的寬度方向的兩側(cè)部冷卻，那么存在如下情況：兩側(cè)部的粘度與由兩側(cè)部夾著的中央?yún)^(qū)域的粘度的差變大，而在兩側(cè)部與中央?yún)^(qū)域之間產(chǎn)生應(yīng)力，從而在兩側(cè)部與中央?yún)^(qū)域的交界處產(chǎn)生翹曲、應(yīng)變。

因此，本發(fā)明的目的在于提供一種能夠通過控制玻璃基板的兩側(cè)部與中央?yún)^(qū)域的粘度來抑制玻璃基板的應(yīng)變的玻璃基板的制造方法及玻璃基板的制造裝置。

[解決問題的技術(shù)手段]

本發(fā)明的一形態(tài)是一種玻璃基板的制造方法，本發(fā)明的玻璃基板的制造方法是利用下拉法制造玻璃基板的方法。下拉法是使熔融玻璃從成形體溢流而成形為薄片玻璃，且一邊沿流下方向拉長薄片玻璃一邊進(jìn)行冷卻。玻璃基板的制造方法是在薄片玻璃離開成形體之后處在薄片玻璃的溫度從高于軟化點(diǎn)的溫度到變?yōu)榫徖潼c(diǎn)附近的溫度區(qū)域時(shí)，一邊朝向薄片玻璃的側(cè)部施加張力，一邊進(jìn)行冷卻以使所述側(cè)部的粘度與由所述側(cè)部夾著的中央?yún)^(qū)域的粘度的粘度差為標(biāo)準(zhǔn)值以下。所謂薄片玻璃的側(cè)部，是相比中央?yún)^(qū)域具有厚度且由球根狀的形狀構(gòu)成的區(qū)域，例如指與薄片玻璃的寬度方向的邊緣相距200mm以內(nèi)的范圍。薄片玻璃的中央?yún)^(qū)域是指由側(cè)部夾著的范圍。

該玻璃基板的制造方法中，薄片玻璃當(dāng)處在離開成形體后的薄片玻璃的溫度從高于軟化點(diǎn)的溫度到變?yōu)榫徖潼c(diǎn)附近的溫度區(qū)域時(shí)，粘度較低，具有充分的流動(dòng)性，所以容易收縮。此外，所謂“處在薄片玻璃的溫度從高于軟化點(diǎn)的溫度到變?yōu)榫徖潼c(diǎn)附近的溫度區(qū)域”，是指薄片玻璃的至少一部分處在該溫度區(qū)域內(nèi)。另外，成形體正下方的薄片玻璃的粘度優(yōu)選為10^5.7～10^7.5Poise。緩冷點(diǎn)是指粘度為10¹³Poise(1Poise＝1dPa·sec)的玻璃的溫度。軟化點(diǎn)是指粘度為10^7.5Poise的玻璃的溫度。另外，緩冷點(diǎn)附近是指包含緩冷點(diǎn)在內(nèi)的與緩冷點(diǎn)相差±20℃的范圍內(nèi)。

具體來說，通過將從成形體離開后的薄片玻璃的側(cè)部的粘度維持在10^9.0～10^14.5Poise的范圍內(nèi)將薄片玻璃冷卻，而抑制薄片玻璃沿寬度方向的收縮。在薄片玻璃的側(cè)部的粘度小于10^9.0Poise的情況下，薄片玻璃容易變形，因此，容易引起薄片玻璃的寬度方向的收縮。另外，在薄片玻璃的側(cè)部的粘度超過10^14.5Poise的情況下，薄片玻璃無法完全承受產(chǎn)生于薄片玻璃內(nèi)部的應(yīng)力，而有可能會(huì)破裂。因此，優(yōu)選為將薄片玻璃的側(cè)部的粘度維持在10^9.0～10^14.5Poise的范圍內(nèi)進(jìn)行冷卻。另外，更優(yōu)選為將薄片玻璃的側(cè)部的粘度維持在10^10.0～10^14.5Poise的范圍內(nèi)進(jìn)行冷卻。

而且，通過將從成形體離開后的薄片玻璃側(cè)部的粘度維持在10^9.0～10^14.5Poise的范圍內(nèi)將薄片玻璃冷卻，而抑制薄片玻璃沿寬度方向的收縮，所以成為朝向薄片玻璃的兩側(cè)部在薄片玻璃的寬度方向上施加了張力的狀態(tài)。此外，優(yōu)選為利用在內(nèi)部流通著空氣的冷卻輥保持薄片玻璃。由此，更有效地抑制薄片玻璃沿寬度方向的收縮。

另外，優(yōu)選為以薄片玻璃的側(cè)部的粘度沿著流下方向變高的方式進(jìn)行冷卻。由此，薄片玻璃的側(cè)部被分階段地或連續(xù)地冷卻，因此，防止薄片玻璃被一次性過度地冷卻而破裂。