[發(fā)明專利]一種氣體噴嘴

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510149062.3
• 申請日: 2015-03-31
• 公開（公告）號: CN104689935B
• 公開（公告）日: 2017-01-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 馬蘭濤;朱駿;張旭升
• 申請（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: B05B1/30
• 分類號: B05B1/30
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)31237
• 代理人: 王宏婧

1.一種氣體噴嘴，其特征在于，所述氣體噴嘴，包括：

噴嘴外套，呈上端開口下端封閉的中空柱狀，并在所述噴嘴外套之側(cè)壁設(shè)置用于與外界氣體管路連通的進氣管口和用于與支撐載體固定設(shè)置的支架固定突起；

活塞內(nèi)套，滑動設(shè)置在所述噴嘴外套內(nèi)，并進一步包括內(nèi)套底座，以及設(shè)置在所述內(nèi)套底座上且異于所述噴嘴外套之底部的內(nèi)套通氣管，且所述內(nèi)套通氣管之緊鄰所述內(nèi)套底座的一端設(shè)置內(nèi)套通氣孔，所述內(nèi)套通氣管之異于所述內(nèi)套通氣孔的一端呈開口狀；

彈性元件，設(shè)置在所述噴嘴外套的底部與所述活塞內(nèi)套的內(nèi)套底座之間；

活塞外套，滑動設(shè)置在所述噴嘴外套內(nèi)，并進一步包括與所述活塞內(nèi)套之內(nèi)套通氣管外側(cè)呈螺紋連接的外套底座，以及設(shè)置在所述外套底座上且異于所述內(nèi)套底座一側(cè)的外套噴嘴；

噴嘴螺帽，與所述噴嘴外套之上端外側(cè)呈螺紋連接，并通過呈倒臺階狀的螺帽固定螺紋口和噴嘴固定管口對所述活塞外套之運動進行限位。

2.如權(quán)利要求1所述的氣體噴嘴，其特征在于，所述活塞外套之外套噴嘴的頂端封閉，并在所述外套噴嘴之緊鄰頂端處設(shè)置外套通氣孔，且所述外套通氣孔之底部到所述外套底座之底部的距離大于所述內(nèi)套通氣管的高度。

3.如權(quán)利要求1所述的氣體噴嘴，其特征在于，所述活塞外套之外套噴嘴的頂端呈開口狀設(shè)置。

4.如權(quán)利要求2或權(quán)利要求3任一權(quán)利要求所述的氣體噴嘴，其特征在于，所述活塞內(nèi)套之內(nèi)套底座的外徑與所述噴嘴外套的內(nèi)徑相等，所述內(nèi)套通氣管之外徑小于所述內(nèi)套底座之外徑。

5.如權(quán)利要求2或權(quán)利要求3任一權(quán)利要求所述的氣體噴嘴，其特征在于，所述活塞外套之外套底座的外徑與所述活塞外套的內(nèi)徑相等，所述活塞外套之外套噴嘴的外徑小于所述活塞外套之外套底座的外徑。

6.如權(quán)利要求2或權(quán)利要求3任一權(quán)利要求所述的氣體噴嘴，其特征在于，所述活塞外套之外套噴嘴的高度大于所述活塞內(nèi)套之內(nèi)套通氣管的高度。

7.如權(quán)利要求2或權(quán)利要求3任一權(quán)利要求所述的氣體噴嘴，其特征在于，所述噴嘴外套之頂部到所述進氣管口底部的距離大于或等于所述外套底座與所述內(nèi)套底座之總高度。

8.如權(quán)利要求2或權(quán)利要求3任一權(quán)利要求所述的氣體噴嘴，其特征在于，所述氣體噴嘴之通氣開關(guān)的最大可調(diào)距離為所述內(nèi)套底座之高度與所述進氣管口之直徑的差值。

9.如權(quán)利要求8所述的氣體噴嘴，其特征在于，在通氣開關(guān)距離最大時所述進氣管口之底部到所述噴嘴外套之底部的距離大于所述彈性元件之最小壓縮高度、內(nèi)套底座之高度，以及最大開關(guān)距離之和。

10.如權(quán)利要求8所述的氣體噴嘴，其特征在于，在通氣開關(guān)距離最小時所述活塞外套之外套噴嘴高于所述噴嘴螺帽頂部的高度與所述活塞內(nèi)套之內(nèi)套底座的高度相等。

11.如權(quán)利要求8所述的氣體噴嘴，其特征在于，所述彈性元件的最大彈性高度大于所述進氣管口之底端與所述噴嘴外套之底端的距離。