[發明專利]技術夾層結構

有效

• 申請號: 201510136399.0
• 申請日: 2015-03-26
• 公開（公告）號: CN104713175B
• 公開（公告）日: 2017-07-21
• 發明（設計）人: 馬小剛;郭輝旭;張子謙;周亮
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: F24F3/16
• 分類號: F24F3/16;F24F11/04;F24F13/28
• 代理公司: 北京聿宏知識產權代理有限公司11372
• 代理人: 吳大建,劉華聯

技術領域

本發明涉及潔凈技術，特別涉及一種技術夾層結構。

背景技術

精密化、高純度加工通常在潔凈廠房的潔凈室內進行，以防止空氣中的灰塵污染精密儀器、精密設備和產品，從而提升生產合格率和產品的質量。例如，在平板顯示制造業中，需要保持生產車間內的空氣懸浮微粒濃度在某個值以下，以達到相應的微粒清潔度級別。

圖1顯示了現有的一種潔凈廠房100的結構。這種潔凈廠房100包括潔凈室20、位于潔凈室下方的回風區25以及位于潔凈室上方的技術夾層10。技術夾層10的結構一般呈盒形，由頂板12、底板11以及若干側板13圍合而成。頂板12設置進風口15、底板11設置下出風口14。通常，在下出風口14上設置過濾裝置16。經過初步凈化的空氣從進風口15進入到技術夾層10，然后經過濾裝置16進入潔凈室20并在潔凈室20內形成垂直單向流，最后通過設置有柵孔的底板進入回風區25而被回收。

為了防止空氣中的塵埃在底板11的上表面沉積，通常會在頂板12和側板13的連接處開設側出風口18進行排空。但是，這樣通常會在底板11與側板13的連接處的角落形成紊流，進入該角落的空氣難以排出，空氣中夾帶的灰塵顆粒在此處相互碰撞、相互吸附而沉積。長時間沉積的灰塵會間歇性地被紊流帶入到下出風口14，從而造成潔凈室20內的微粒清潔度降低。在清潔度級別要求非常高的潔凈廠房內尤為明顯。

發明內容

本發明所要解決的技術問題為減少技術夾層中的紊流，使得灰塵不容易在底板的上表面沉積，從而保持潔凈室內的微粒潔凈清潔度在較高的水平。

針對上述技術問題，本發明提出了一種技術夾層結構，其包括：設置有進風口的頂板；與頂板平行的且設置有下出風口的底板；設置在下出風口的下過濾裝置；以及兩端均分別連接頂板和底板的若干側板，側板還包括靠近底板的若干側出風口，其中，側板、頂板和底板圍合成盒形結構。

在一個具體的實施例中，進風口位于頂板的中部，下出風口位于底板的中部。

在一個具體的實施例中，若干側出風口均位于一個平行于底板的平面上。

在一個具體的實施例中，技術夾層結構還包括若干風量調節閥，各個風量調節閥對應設置在各個側出風口內。

在一個具體的實施例中，遠離進風口的風量調節閥的開口比靠近進風口的風量調節閥的開口大。

在一個具體的實施例中，技術夾層結構還包括設置有相互平行的若干條槽和透風口的蓋板以及穿過條槽將蓋板固定在側板上的若干螺釘，蓋板蓋合在側出氣口上，在蓋板分別向條槽所延伸的兩個方向滑動時側出氣與透風口可以錯開或對齊。

在一個具體的實施例中，蓋板上設置有沿條槽的延伸方向依次排列的若干透風口，若干側出風口沿條槽的延伸方向依次排列，各個透風口可以與各個出風口對應對齊。

在一個具體的實施例中，相鄰兩個側出風口的距離大于側出風口在條槽延伸方向的寬度。

在一個具體的實施例中，技術夾層結構還包括設置在進風口的上過濾裝置。

在一個具體的實施例中，上過濾裝置和/或下過濾裝置為風機過濾機組。

從頂板的進風口送入空氣時，技術夾層結構內的氣壓大于潔凈室內的氣壓，一部分氣流經過下過濾裝置而進入到潔凈室。同時，由于技術夾層結構內的氣壓大于側出風口外側的氣壓，另一部分空氣從側出風口送出，這部分空氣在底板與側板的連接處的形成向側出風口流動的單向流，底板的邊緣部分始終被該氣流吹掃，灰塵不易在底板的邊緣部分沉積。同時，由于形成了向側出風口流動的單向流，消除了紊流，灰塵不容易沉積。另外，下過濾裝置位于該單向流的上風側，即便由于某些原因在側出風口附近區域揚起了灰塵，這些灰塵也只會向下風側流動并從側出風口流出。由此來減少技術夾層中的紊流，使得灰塵不容易在底板的上表面沉積，從而保持潔凈室內的微粒潔凈清潔度在較高的水平。

附圖說明

在下文中將基于實施例并參考附圖來對本發明進行更詳細的描述。其中：

圖1顯示了現有的一種潔凈廠房的結構示意圖；

圖2顯示了本發明的一種實施方式的潔凈廠房的全剖主視示意圖；

圖3顯示了側出氣口在完全封閉狀態下的局部示意圖；

圖4顯示了側出氣口在完全打開狀態下的局部示意圖；

圖5顯示了圖2中的技術夾層結構的全剖俯視示意圖。

在附圖中，相同的部件使用相同的附圖標記。附圖并未按照實際的比例繪制。

具體實施方式

下面將結合附圖對本發明作進一步說明。