[發明專利]激光剝離方法及用于在目標上引起激光剝離的系統

有效

• 申請號: 201510136010.2
• 申請日: 2015-02-26
• 公開（公告）號: CN104858544B
• 公開（公告）日: 2018-09-21
• 發明（設計）人: R·J·馬丁森
• 申請（專利權）人: 恩耐公司
• 主分類號: B23K26/00
• 分類號: B23K26/00
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 李光穎;王英

1.一種激光剝離方法，包括：

生成多個固態激光脈沖；

將所述多個固態激光脈沖變換為紫外頻率；

在形狀上將所述多個激光脈沖在垂直橫向軸上的橫向空間強度曲線調節為矩形，其中，沿著每個橫向軸的形狀對應于八階或更高階的超高斯；并且

將所述多個激光脈沖沿著平行于所述橫向軸中的一個的方向在目標上進行掃描，以便在目標上產生激光剝離。

2.根據權利要求1所述的方法，其中，矩形形狀為方形形狀。

3.根據權利要求1所述的方法，其中，掃描的激光脈沖在所述目標處的空間范圍彼此重疊小于20％。

4.根據權利要求1所述的方法，其中，在所述垂直橫向軸中的每個上的經調節的橫向空間強度曲線對應于至少十二階的超高斯。

5.根據權利要求1所述的方法，其中，所述脈沖在所述目標處的掃描方向上的長度至少為1.5mm或更長。

6.根據權利要求1所述的方法，其中，傳遞到所述目標的所述激光脈沖每個都具有至少200mJ/cm²的脈沖積分通量。

7.根據權利要求1所述的方法，其中，傳遞到所述目標的所述脈沖的脈沖重復率為至少10kHz。

8.根據權利要求1所述的方法，其中，所述固態激光脈沖是利用固態盤形激光器而被生成的。

9.根據權利要求1所述的方法，其中，矩形脈沖的縱橫比為5：1或更小。

10.一種用于在目標上引起激光剝離的系統，所述系統包括：

脈沖固態激光器，其用于產生具有為激光剝離所選定的激光脈沖參數的激光脈沖；

頻率變換器，其用于接收所述激光脈沖并對所述激光脈沖的頻率進行變換；

波束整形光學器件，其用于接收所述激光脈沖并對所述激光脈沖在垂直橫向軸上的橫向強度曲線進行調節，使得所述橫向強度曲線的形狀為矩形并且使得所述橫向強度曲線在每個橫向軸上的形狀對應于八階或更高階的超高斯；以及

掃描光學器件，其用于將經空間上調節的激光脈沖沿著平行于所述橫向軸中的一個的方向指引到所述目標，以便在所述目標上引起激光剝離，

其中，所述頻率變換器能夠將所述激光脈沖的所述頻率變換為紫外頻率。

11.根據權利要求10所述的系統，其中，所述矩形形狀為正方形形狀。

12.根據權利要求10所述的系統，其中，所述矩形形狀具有5：1或更小的縱橫比。

13.根據權利要求10所述的系統，其中，光脈沖在目標表面處的掃描方向上的長度為1.5mm或更長。

14.根據權利要求10所述的系統，其中，所述激光脈沖在目標表面處具有200mJ/cm²或更大的脈沖積分通量。

15.根據權利要求10所述的系統，其中，所述脈沖固態激光器為盤形激光器。

16.根據權利要求10所述的系統，其中，所述脈沖固態激光器為棒形激光器。

17.根據權利要求10所述的系統，其中，在所述垂直橫向軸中的每個上的經調節的橫向空間強度曲線對應于至少十二階的超高斯。

18.根據權利要求10所述的系統，其中，在垂直橫向軸中的每個上的經調節的橫向空間強度曲線對應于至少十四階的超高斯。

19.根據權利要求10所述的系統，其中，所述激光脈沖以至少10kHz的脈沖重復率被提供到目標表面。