[發明專利]直線形狀測定方法及直線形狀測定裝置有效
| 申請號： | 201510096787.0 | 申請日： | 2015-03-04 |
| 公開（公告）號： | CN104897105B | 公開（公告）日： | 2018-08-07 |
| 發明（設計）人： | 市原浩一 | 申請（專利權）人： | 住友重機械工業株式會社 |
| 主分類號： | G01B21/24 | 分類號： | G01B21/24;G01B21/20 |
| 代理公司： | 廣州三環專利商標代理有限公司 44202 | 代理人： | 溫旭;郝傳鑫 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 直線 形狀 測定 方法 裝置 | ||
1.一種直線形狀測定方法，其使用沿第1方向等間隔排列的3個傳感器測定被測定物表面的直線形狀，其具有：
獲取所述被測定物表面的表面粗糙度的工序；
根據所述表面粗糙度確定采樣間距的工序；
使所述3個傳感器與被測定物的表面對置，并且使該傳感器相對于所述被測定物沿所述第1方向相對移動的同時以所確定的所述采樣間距收集所述被測定物表面的高度數據的工序；
根據所述高度數據，求出沿所述第1方向以所述采樣間距分布于所述被測定物表面上的采樣點的曲率的工序；及
根據所述曲率，求出所述被測定物表面的直線形狀的工序。
2.根據權利要求1所述的直線形狀測定方法，其中：
在所述求出直線形狀的工序中，通過對所述曲率或所述曲率的移動平均值進行二階積分，求出所述被測定物表面的直線形狀。
3.根據權利要求1或2所述的直線形狀測定方法，其中：
在所述確定采樣間距的工序中，所述采樣間距確定為相當于所述表面粗糙度的最大空間頻率的周期的1/2以下的值。
4.根據權利要求1或2所述的直線形狀測定方法，其中：
在所述確定采樣間距的工序中，所述采樣間距確定為1mm以下的值。
5.根據權利要求1或2所述的直線形狀測定方法，其中：
在所述確定采樣間距的工序中，所述采樣間距確定為小于所述3個傳感器彼此之間的間隔的值。
6.一種直線形狀測定裝置，其使用沿第1方向等間隔排列的3個傳感器測定被測定物表面的直線形狀，其具有：
移動機構，將所述3個傳感器支承為與被測定物的表面對置，并且使所述傳感器相對于所述被測定物沿所述第1方向相對移動；及
處理裝置，控制所述移動機構來使所述傳感器沿所述第1方向移動，并且收集由所述傳感器測定的高度數據，
所述處理裝置中，
獲取所述被測定物表面的表面粗糙度，
根據所述表面粗糙度確定采樣間距，
使所述3個傳感器沿所述第1方向移動的同時以所確定的所述采樣間距收集高度數據，
根據所述高度數據，求出沿所述第1方向以所述采樣間距分布于所述被測定物表面上的采樣點的曲率，
根據所述曲率，求出所述被測定物表面的直線形狀。
7.根據權利要求6所述的直線形狀測定裝置，其中：
所述處理裝置中，通過對所述曲率或所述曲率的移動平均值進行二階積分，求出所述被測定物表面的直線形狀。
8.根據權利要求6或7所述的直線形狀測定裝置，其中：
所述處理裝置中，所述采樣間距確定為相當于所述表面粗糙度的最大空間頻率的周期的1/2以下的值。
9.根據權利要求6或7所述的直線形狀測定裝置，其中：
所述處理裝置中，所述采樣間距確定為1mm以下的值。
10.根據權利要求6或7所述的直線形狀測定裝置，其中：
所述處理裝置中，所述采樣間距確定為小于所述3個傳感器彼此之間的間隔的值。
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