[發明專利]一種掩模版上殘膠的去除方法在審
| 申請號： | 201510094999.5 | 申請日： | 2015-03-03 |
| 公開（公告）號： | CN105988308A | 公開（公告）日： | 2016-10-05 |
| 發明（設計）人： | 馬志平;成立炯;平志綱 | 申請（專利權）人： | 上海凸版光掩模有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/42 | 分類號： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務所 31219 | 代理人： | 余明偉 |
| 地址： | 200233 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 模版 上殘膠 去除 方法 | ||
【說明書】：
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