[發明專利]高頻電源裝置有效
| 申請號： | 201510094746.8 | 申請日： | 2015-03-03 |
| 公開（公告）號： | CN104901580B | 公開（公告）日： | 2018-11-27 |
| 發明（設計）人： | 土生俊也 | 申請（專利權）人： | 株式會社島津制作所 |
| 主分類號： | H02M9/02 | 分類號： | H02M9/02;G01N21/68 |
| 代理公司： | 上海市華誠律師事務所 31210 | 代理人： | 肖華 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 高頻 電源 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種高頻電源裝置，具備：直流電壓源、包括等離子體生成用的感應線圈與電容器的LC共振電路、以及包括對從所述直流電壓源供給的直流電力進行切換而施加到所述LC共振電路的半導體開關元件的開關電路，通過對所述感應線圈接入高頻電力來生成等離子體，所述高頻電源裝置的特征在于，具備：
a)阻抗變換部，其介于所述開關電路與所述LC共振電路之間，能夠將阻抗變換率切換成多個階段；以及
b)控制部，其使所述阻抗變換部動作，以使得在等離子體點亮開始前、與在該點亮開始后的穩態點亮時，切換所述阻抗變換率，并且在點亮開始后的穩態點亮時，在切換阻抗變換率之際，切換為使等離子體生成時的電力效率比等離子體點亮開始前好這樣的阻抗變換率。
2.根據權利要求1所述的高頻電源裝置，其特征在于，
所述阻抗變換部包括電感器與電容器，通過使該電容器的電容變化來切換阻抗變換率。
3.根據權利要求2所述的高頻電源裝置，其特征在于，
所述阻抗變換部包括被并聯連接了的電容器、將該電容器的一部分從該并聯連接中分離的開關元件、以及使控制該開關元件的切換的信號的變化鈍化的時間常數電路。
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