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[發明專利]多晶硅生產過程中含氯硅烷廢氣的簡易檢測裝置及其檢測方法有效

專利信息
申請號: 201510094528.4 申請日: 2015-03-03
公開(公告)號: CN104990995B 公開(公告)日: 2018-02-27
發明(設計)人: 張雷鵬;涂夏明;唐明元;王紹祖;屈杰;蔣曉龍;茍文娜;郭張利 申請(專利權)人: 陜西天宏硅材料有限責任公司
主分類號: G01N30/02 分類號: G01N30/02;G01N31/16
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 712038 陜西*** 國省代碼: 陜西;61
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摘要:
搜索關鍵詞: 多晶 生產過程 中含氯 硅烷 廢氣 簡易 檢測 裝置 及其 方法
【權利要求書】:

1.多晶硅生產過程中含氯硅烷廢氣的簡易檢測方法,其特征在于,簡易檢測裝置包括:一放置于液氮罐內的冷凝管,所述冷凝管通過第一橡膠管連接廢氣管線,并通過第二橡膠管連接裝有氫氧化鈉溶液的液封罐;

所述第二橡膠管的端部連接有三角漏斗,且三角漏斗深入所述液封罐內;

所述第一橡膠管上設置有流量控制閥以及流量計;

基于上述簡易裝置實現的簡易檢測方法,包括以下步驟:

步驟一、打開流量控制閥,將冷凝管內的空氣完全排空;

步驟二、調整流量控制閥的開度,直至流量計顯示的流量穩定后,將冷凝管插入液氮罐中,且將三角漏斗放入已知氫氧化鈉摩爾濃度C和體積V2的液封罐中;

步驟三、在冷凝管內持續通入廢氣,當冷凝管中的冷凝液達到所需量V1時,關閉流量控制閥,停止計時,記錄下冷凝時間t;

步驟四、拆除冷凝管的前后連接管道,用塞子將冷凝管的進出口塞緊,送至檢測室用色譜檢測液態氯硅烷的摩爾組成:三氯氫硅為a,四氯化硅為b和二氯二氫硅為c;

步驟五、用已知摩爾濃度C1的鹽酸滴定液封罐中剩余的氫氧化鈉,消耗的鹽酸體積為V5

2.根據權利要求1所述的多晶硅生產過程中含氯硅烷廢氣的簡易檢測方法,其特征在于,所述流量計顯示流量為200l/h。

3.根據權利要求1所述的多晶硅生產過程中含氯硅烷廢氣的簡易檢測方法,其特征在于,計算各個參數的計算公式如下:

廢氣總體積V=200*t;

廢氣中HCl氣體的摩爾量n4=CV2-C1V5

冷凝液總的摩爾數

被冷凝氯硅烷的氣態體積

HCL氣態的體積

其中M1代表三氯氫硅分子量;M2代表四氯化硅分子量;M3代表二氯二氫硅分子量;R代表理想氣體常數;P代表理想氣體的壓強,ρ代表液態氯硅烷的平均密度。

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