[發(fā)明專(zhuān)利]多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中含氯硅烷廢氣的簡(jiǎn)易檢測(cè)裝置及其檢測(cè)方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510094528.4
• 申請(qǐng)日: 2015-03-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104990995B
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-02-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張雷鵬;涂夏明;唐明元;王紹祖;屈杰;蔣曉龍;茍文娜;郭張利
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 陜西天宏硅材料有限責(zé)任公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01N30/02
• 分類(lèi)號(hào): G01N30/02;G01N31/16
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中含氯硅烷廢氣的簡(jiǎn)易檢測(cè)方法，其特征在于，簡(jiǎn)易檢測(cè)裝置包括：一放置于液氮罐內(nèi)的冷凝管，所述冷凝管通過(guò)第一橡膠管連接廢氣管線，并通過(guò)第二橡膠管連接裝有氫氧化鈉溶液的液封罐；

所述第二橡膠管的端部連接有三角漏斗，且三角漏斗深入所述液封罐內(nèi)；

所述第一橡膠管上設(shè)置有流量控制閥以及流量計(jì)；

基于上述簡(jiǎn)易裝置實(shí)現(xiàn)的簡(jiǎn)易檢測(cè)方法，包括以下步驟：

步驟一、打開(kāi)流量控制閥，將冷凝管內(nèi)的空氣完全排空；

步驟二、調(diào)整流量控制閥的開(kāi)度，直至流量計(jì)顯示的流量穩(wěn)定后，將冷凝管插入液氮罐中，且將三角漏斗放入已知?dú)溲趸c摩爾濃度C和體積V₂的液封罐中；

步驟三、在冷凝管內(nèi)持續(xù)通入廢氣，當(dāng)冷凝管中的冷凝液達(dá)到所需量V₁時(shí)，關(guān)閉流量控制閥，停止計(jì)時(shí)，記錄下冷凝時(shí)間t；

步驟四、拆除冷凝管的前后連接管道，用塞子將冷凝管的進(jìn)出口塞緊，送至檢測(cè)室用色譜檢測(cè)液態(tài)氯硅烷的摩爾組成：三氯氫硅為a，四氯化硅為b和二氯二氫硅為c；

步驟五、用已知摩爾濃度C1的鹽酸滴定液封罐中剩余的氫氧化鈉，消耗的鹽酸體積為V₅。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中含氯硅烷廢氣的簡(jiǎn)易檢測(cè)方法，其特征在于，所述流量計(jì)顯示流量為200l/h。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中含氯硅烷廢氣的簡(jiǎn)易檢測(cè)方法，其特征在于，計(jì)算各個(gè)參數(shù)的計(jì)算公式如下：

廢氣總體積V＝200*t；

廢氣中HCl氣體的摩爾量n₄＝CV₂-C₁V₅

冷凝液總的摩爾數(shù)

被冷凝氯硅烷的氣態(tài)體積

HCL氣態(tài)的體積

其中M₁代表三氯氫硅分子量；M₂代表四氯化硅分子量；M₃代表二氯二氫硅分子量；R代表理想氣體常數(shù)；P代表理想氣體的壓強(qiáng)，ρ代表液態(tài)氯硅烷的平均密度。