[發明專利]基板檢測裝置和基板檢測方法

有效

• 申請號: 201510093266.X
• 申請日: 2015-03-02
• 公開（公告）號: CN104634262B
• 公開（公告）日: 2017-11-07
• 發明（設計）人: 羅鵬;王賀;方鑫;彭佳佳;劉響
• 申請（專利權）人: 合肥鑫晟光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G01B11/04
• 分類號: G01B11/04
• 代理公司: 北京安信方達知識產權代理有限公司11262
• 代理人: 林桐苒,曲鵬

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，具體而言，涉及一種基板檢測裝置和一種基板檢測方法。

背景技術

目前，一般通過全數檢查機檢查彩膜基板(CF)上的微觀黑缺陷和白缺陷，并監控各型號產品的不良趨勢。而黑矩陣是彩膜工序的首要工序，如圖1所示，其線寬的主要作用為：

①作為光線不可通過領域，起到區分RGB(紅綠藍)區域的作用；

②產品設計時，需考慮黑矩陣區域寬幅(線寬)大小對色度的影響，線寬小可能出現RGB相互覆蓋或漏光等不良現象，線寬大可能導致對比度及色度的改變。

所以黑矩陣的線寬在彩膜制程中的檢測是一道十分重要的工序。而目前全數檢查機對于黑矩陣的線寬的測量，只能通過Review鏡頭劃線測量，而測量的條件需要傳輸彩膜基板的設備停下來進行量測，測量時間較長，無法實現對每張彩膜基板中的黑矩陣的線寬進行檢測，而且停下設備進行檢測會造成黑矩陣線別節拍時間延長，而影響整個彩膜基板生產線的產能。而如果通過全數抽檢來檢測黑矩陣的線寬，檢測周期很長，難以實現實時監控，造成良率損失風險較大。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是，如何對基板中的黑矩陣的線寬進行連續檢測，無需停止傳輸黑矩陣的設備，并且能夠提高檢測的精度和反饋速度。

為此目的，本發明提出了一種基板檢測裝置，包括：計算單元以及對應設置的激光發射單元和激光接收單元，其中，

所述激光發射單元設置于傳輸設備的一側，在所述傳輸設備上的每個待測基板運動至檢測位置時，向所述待測基板發出激光；

所述激光接收單元設置于所述傳輸設備的另一側，用于接收穿過所述待測基板的激光；

所述計算單元用于根據所述激光發射單元發出的激光的強度，和所述激光接收單元接收的激光的強度，計算激光對于所述待測基板的透過率，根據所述透過率判斷所述待測基板中黑矩陣的線寬是否處于預設線寬范圍內。

優選地，所述計算單元還用于，判斷所述透過率是否處于預設透過率范圍內，若未處于所述預設透過率范圍內，則判定所述待測基板中黑矩陣的線寬未處于預設線寬范圍內，若處于所述預設透過率范圍內，則判定所述待測基板中黑矩陣的線寬處于預設線寬范圍內。

優選地，所述計算單元還用于，將所述透過率換算為所述待測基板中黑矩陣的線寬，并判斷所述黑矩陣的線寬是否處于所述預設線寬范圍內。

優選地，所述黑矩陣的線寬＝A*(-log透過率)+B，其中，A和B為常數。

優選地，還包括：

設置單元，用于根據接收到的指令設置所述常數A、常數B和/或所述預設線寬范圍。

優選地，還包括：

提示單元，在所述計算單元判斷所述待測基板中黑矩陣的線寬未處于所述預設線寬范圍內時，發出提示信息。

優選地，還包括：

控制單元，用于根據所述待測基板的曝光區域控制所述激光發射單元和激光接收單元運動，以及控制所述激光發射單元發出激光的位置。

優選地，在所述待測基板包括多個曝光區域時，所述控制單元控制所述激光發射單元和激光接收單元垂直于所述傳輸設備運動的方向往返運動，并控制所述激光發射單元在運動到所述待測基板每個曝光區域中的預設位置時發出激光，

所述計算單元計算所述每個曝光區域的透過率，并根據所述多個曝光區域的透過率計算所述待測基板的透過率。

優選地，在所述待測基板包括四個曝光區域時，所述控制單元控制所述激光發射單元和激光接收單元運動到所述待測基板中任意三個曝光區域，并控制所述激光發射單元在運動到所述任意三個曝光區域中每個曝光區域中的預設位置時發出激光，

所述計算單元計算所述每個曝光區域的透過率，并根據所述任意三個曝光區域的透過率計算所述待測基板的透過率。

本發明還提出了一種基板檢測方法，包括：

在待測基板一側向所述待測基板發出激光；

在所述待測基板的另一側接收穿過所述待測基板的激光；

根據發出的激光和接收的激光計算所述待測基板的透過率，根據所述透過率判斷所述待測基板中黑矩陣的線寬是否處于預設線寬范圍內。

根據上述技術方案，在傳輸設備兩側設置激光發射單元和激光接收單元，可以通過激光照射基板來計算激光對基板的透過率，從而根據透過率計算基板中黑矩陣的線寬，進而判斷黑矩陣的線寬是否滿足要求，無需停止傳輸設備即可對檢測傳輸設備上每個待測基板的黑矩陣的線寬進行檢測，并且根據透過率可以準確且快速地計算黑矩陣的線寬。

附圖說明