[發(fā)明專利]電子部件搬運(yùn)裝置以及電子部件檢查裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510091746.2
• 申請(qǐng)日: 2015-02-28
• 公開（公告）號(hào): CN105277869A
• 公開（公告）日: 2016-01-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 桐原大輔;前田政己
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 精工愛普生株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01R31/28
• 分類號(hào): G01R31/28;G01R1/02
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 舒艷君;李洋

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及電子部件搬運(yùn)裝置以及電子部件檢查裝置。

背景技術(shù)

以往，公知有一種例如對(duì)IC器件等電子部件的電特性進(jìn)行檢查的電子部件檢查裝置，在該電子部件檢查裝置中組裝有用于將IC器件搬運(yùn)至檢查部的保持部的電子部件搬運(yùn)裝置。在檢查IC器件時(shí)，IC器件被配置于保持部，使設(shè)于保持部的多個(gè)探針與IC器件的各端子接觸。

這樣的IC器件的檢查有時(shí)將IC器件冷卻至規(guī)定溫度來進(jìn)行。專利文獻(xiàn)1中記載了一種構(gòu)成為具有內(nèi)部被設(shè)定為規(guī)定的溫度的均熱室以及測(cè)試室，IC芯片在測(cè)試室中進(jìn)行檢查的IC處理器。而且，在IC器件的冷卻中使用向均熱室以及測(cè)試室供給冷風(fēng)的冷凍裝置。冷凍裝置與IC處理器獨(dú)立地以與該IC處理器相鄰的方式被設(shè)置于地面。

【專利文獻(xiàn)1】日本特開2000－46904號(hào)公報(bào)

然而，在專利文獻(xiàn)1中，例如在移動(dòng)搬運(yùn)IC處理器的情況下，冷凍裝置也不得不一同進(jìn)行搬運(yùn)，導(dǎo)致搬運(yùn)作業(yè)繁雜。另外，搬運(yùn)作業(yè)在事先暫時(shí)解除將IC處理器與冷凍裝置連接的配管之后進(jìn)行。而且，在搬運(yùn)目的地，必須再次使用配管將IC處理器與冷凍裝置重新連接，導(dǎo)致設(shè)置作業(yè)繁雜。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于，提供一種搬運(yùn)作業(yè)、搬運(yùn)后的設(shè)置作業(yè)容易的電子部件搬運(yùn)裝置以及電子部件檢查裝置。

本發(fā)明為了解決上述課題的至少一部分而提出，能夠作為以下的方式或者應(yīng)用例而實(shí)現(xiàn)。

[應(yīng)用例1]

本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置的特征在于，具備：被配置電子部件的電子部件配置部；和配置在所述電子部件配置部的垂直上方，向所述電子部件配置部供給制冷劑的制冷劑供給裝置。

由此，成為將制冷劑供給裝置預(yù)先搭載到上方的構(gòu)成，從而，可按每個(gè)制冷劑供給裝置進(jìn)行搬運(yùn)，搬運(yùn)作業(yè)變得容易。另外，即使不解除制冷劑供給裝置與電子部件配置部之間的配管也能進(jìn)行搬運(yùn)，從而，搬運(yùn)后的設(shè)置作業(yè)變得容易。

[應(yīng)用例2]

在本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選具備：能夠配置對(duì)所述電子部件進(jìn)行檢查的檢查部的檢查部配置部、和被配置與所述檢查部連接的檢測(cè)器的檢測(cè)器配置空間，從所述垂直上方俯視的所述制冷劑供給裝置的重心的位置處于從所述垂直上方俯視到所述檢測(cè)器配置空間的區(qū)域以外的區(qū)域。

由此，對(duì)電子部件搬運(yùn)裝置而言，被搭載制冷劑供給裝置之前的重心向制冷劑供給裝置的重心側(cè)移動(dòng)，而與該重心同樣地被配置在俯視到檢測(cè)器配置空間的區(qū)域以外的區(qū)域。通過這樣的配置，檢查裝置被穩(wěn)定地設(shè)置。

[應(yīng)用例3]

在本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選所述制冷劑供給裝置配置在搬運(yùn)所述電子部件的路線的垂直上方。

由此，制冷劑供給裝置的正下方的空氣處于被冷卻而存留于下方的趨勢(shì)。載置電子部件的周圍也被該空氣冷卻，使得冷卻效率提高。

[應(yīng)用例4]

在本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選所述制冷劑供給裝置與所述電子部件配置部通過流通所述制冷劑的第一配管連接，所述第一配管被第二配管覆蓋，所述第一配管與所述第二配管之間的至少一部分被填滿預(yù)先決定的濕度的氣體。

由此，能夠防止在第二配管的內(nèi)側(cè)、外側(cè)發(fā)生結(jié)露。

[應(yīng)用例5]

在本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選在所述制冷劑供給裝置的垂直下方設(shè)有對(duì)來自所述制冷劑供給裝置的制冷劑的漏液進(jìn)行承接的漏液承接部、和使所述漏液從所述漏液承接部向垂直下方流動(dòng)的配管。

由此，能夠防止液體飛散到配設(shè)有電子部件配置部的區(qū)域。

[應(yīng)用例6]

在本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選在比所述電子部件配置部靠垂直下方處設(shè)有小腳輪。

由此，搬運(yùn)作業(yè)變得容易。

[應(yīng)用例7]

本發(fā)明的電子部件檢查裝置的特征在于，具備：被配置電子部件的電子部件配置部；被配置在所述電子部件配置部的垂直上方，向所述電子部件配置部供給制冷劑的制冷劑供給裝置；和對(duì)所述電子部件進(jìn)行檢查的檢查部。

由此，成為預(yù)先在上方搭載了制冷劑供給裝置的構(gòu)成，從而，可按每個(gè)制冷劑供給裝置進(jìn)行搬運(yùn)，搬運(yùn)作業(yè)變得容易。另外，即使不解除制冷劑供給裝置與電子部件配置部之間的配管也能進(jìn)行搬運(yùn)，從而，搬運(yùn)后的設(shè)置作業(yè)變得容易。

附圖說明

圖1是從正面?zhèn)扔^察本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置(第一實(shí)施方式)的簡(jiǎn)要立體圖。

圖2是從背面?zhèn)扔^察本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置(第一實(shí)施方式)的簡(jiǎn)要立體圖。

圖3是表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置(第一實(shí)施方式)的簡(jiǎn)要俯視圖。