[發明專利]濾光器、光學模塊、電子設備及濾光器的制造方法在審
| 申請號： | 201510090491.8 | 申請日： | 2015-02-27 |
| 公開（公告）號： | CN104880818A | 公開（公告）日： | 2015-09-02 |
| 發明（設計）人： | 坂下友樹;新東晉;北原浩司 | 申請（專利權）人： | 精工愛普生株式會社 |
| 主分類號： | G02B26/00 | 分類號： | G02B26/00 |
| 代理公司： | 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240 | 代理人： | 余剛;吳孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 濾光 光學 模塊 電子設備 制造 方法 | ||
1.一種濾光器，其特征在于，具備：
固定基板；
可動部，與所述固定基板對向配置；
第一反射膜，設置于所述固定基板；
第二反射膜，設置于所述可動部，所述第二反射膜與所述第一反射膜對向；以及
間隔控制部，控制所述第一反射膜和所述第二反射膜的間隔，
在所述第一反射膜和所述第二反射膜之間設置有導電性的第一基膜，在所述第一基膜上設置有第一配線，
在所述第二反射膜和所述可動部之間設置有導電性的第二基膜，在所述第二基膜上設置有第二配線。
2.根據權利要求1所述的濾光器，其特征在于，在所述第一反射膜和所述第二反射膜中的至少一個的表面設置有導電性的保護膜。
3.根據權利要求1或2所述的濾光器，其特征在于，在從所述第一反射膜的厚度方向俯視觀察時，所述第一反射膜小于所述第一基膜，所述第二反射膜小于所述第二基膜。
4.根據權利要求1至3中任一項所述的濾光器，其特征在于，所述第一配線及所述第二配線中的至少一個的材質是金屬。
5.根據權利要求2所述的濾光器，其特征在于，
所述保護膜被設置于所述第一反射膜的表面時，所述保護膜的材質是與所述第一基膜相同的材質，
所述保護膜被設置于所述第二反射膜的表面時，所述保護膜的材質是與所述第二基膜相同的材質。
6.根據權利要求2或5所述的濾光器，其特征在于，所述第一基膜、所述第二基膜及所述保護膜的材質是鎵銦氧化物。
7.一種光學模塊，其特征在于，具備：
權利要求1至6中任一項所述的濾光器；以及
收納部，收納所述濾光器。
8.一種電子設備，其特征在于，
所述電子設備具備濾光器、以及控制所述濾光器的控制部，
所述濾光器具備：
固定基板；
可動部，與所述固定基板對向配置；
第一反射膜，設置于所述固定基板；
第二反射膜，設置于所述可動部，所述第二反射膜與所述第一反射膜對向；以及
間隔控制部，控制所述第一反射膜和所述第二反射膜的間隔，
在所述第一反射膜和所述第二反射膜之間設置有導電性的第一基膜，在所述第一基膜上設置有第一配線，
在所述第二反射膜和所述可動部之間設置有導電性的第二基膜，在所述第二基膜上設置有第二配線。
9.一種濾光器的制造方法，其特征在于，包括：
在基板上設置第一膜，將所述第一膜形成圖案為第一形狀而形成基膜；
在所述基板上及所述基膜上設置第一金屬膜，以所述第一金屬膜的一部分重疊在所述基膜上的方式形成圖案而形成配線；以及
在所述基膜上重疊設置第二金屬膜及第二膜，將所述第二金屬膜及所述第二膜形成圖案為比所述第一形狀小的第二形狀，形成反射膜及保護膜。
10.根據權利要求9所述的濾光器的制造方法，其特征在于，
所述基膜的材質是鎵銦氧化物，所述第一金屬膜具有金屬基層和金屬上側層，
所述金屬基層是TiW、Cr、NiCr中的任一種。
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