[發明專利]缺陷檢查設備和方法

在審

• 申請號: 201510088682.0
• 申請日: 2015-02-26
• 公開（公告）號: CN105223207A
• 公開（公告）日: 2016-01-06
• 發明（設計）人: 姜旻秀;宋尚憲
• 申請（專利權）人: 韓華泰科株式會社
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95;G01N21/958
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 胡江海;龔振宇

本申請要求于2014年7月2日提交至韓國知識產權局的第10-2014-0082532號韓國專利申請的權益，該韓國專利申請的全部公開通過引用包含于此。

技術領域

一個或更多個示例性實施例涉及缺陷檢查設備和方法，更具體地講，涉及利用單個裝置來測量多種類型的缺陷并區分多種類型的缺陷的缺陷檢查設備和方法。

背景技術

當檢查透明或者不透明的物體是否存在缺陷時，通常來說，裝置通過發射將要入射在物體上的光然后測量并分析透射光或反射光來檢查物體是否存在缺陷。

然而，為了檢測缺陷，沿一個方向發射將要入射在物體上的光的各個發光裝置都需要載物臺和相機，這導致了用于檢查多種類型的缺陷的檢查裝置的尺寸過度地增大。

此外，由于從每個載物臺獨立地獲取圖像，所以可能難以區分缺陷。

發明內容

一個或多個示例性實施例包括一種具有很小的尺寸并可以測量并在多種類型的缺陷之間進行區分的缺陷檢查設備。

另外的方面將在隨后的描述中部分地闡述，且部分地將通過描述而變得顯而易見，或者可以通過實施提供的示例性實施例而了解。

根據一個或多個示例性實施例，一種缺陷檢查設備包括：載物臺，支撐物體；第一發光單元，發射將入射在物體上的光；反射器，將由第一發光單元發射并被物體反射的光再次反射到物體上；第二發光單元，設置在關于載物臺與第一發光單元相反的方向上，并發射將入射在物體上的光；相機，包括接收被反射器反射、入射在物體上、且隨后被物體反射的光以及從第二發光單元入射在物體上并穿過物體的光的成像器件；第三發光單元，被設置為靠近反射器，并發射將入射在物體上的光。第三發光單元發射的光以與反射器反射的光的角度不同的角度入射在物體上，成像器件接收從第三發光單元發射并入射在物體上的光中的被物體散射的光的一部分。

由相機的光軸和垂直于物體的線形成的角度與將反射器連接到物體的線和垂直于物體的線形成的角度可以基本相同。

反射器可以是后向反射器。

由相機的光軸和垂直于物體的線形成的角度與將第二發光單元連接到物體的線和垂直于物體的線形成的角度可以基本相同。

所述設備還可以包括：第四發光單元，被設置為靠近第二發光單元并以與第二發光單元發射的光的角度不同的角度將光發射在物體上。

第三發光單元可以包括設置在基于反射器的兩個方向上并以不同的角度將光發射在物體上的多個照明源，第四發光單元可以包括設置在基于第二發光單元的兩個方向上并以不同的角度將光發射在物體上的多個照明源。

所述設備還可以包括：阻擋單元，設置在成像器件的前方，并根據被反射器反射、入射在物體上且隨后被物體反射的光的角度來阻擋入射在成像器件上的光的一部分或全部。

所述設備還可以包括：第五發光單元，設置在關于載物臺與第二發光單元的方向相同的方向上，并沿與物體垂直的方向發射光；垂直相機，接收由第五發光單元發射并被物體反射的光。

反射器和第三發光單元可以被設置為使得基于被物體反射的光入射所處的區域形成10°至40°的角度。

所述設備還可以包括：第六發光單元，被載物臺支撐，并朝向物體的側表面發射光。

根據一個或多個示例性實施例，一種缺陷檢查方法包括：在載物臺上設置物體；通過使用第一發光單元發射將入射在物體上的光；通過使用反射器將由第一發光單元發射且隨后被物體反射的光反射到物體上、以及使用成像器件接收通過反射器再次入射在物體上且隨后從物體反射的光，來獲得第一圖像；通過使用設置在關于載物臺與第一發光單元相對的方向上的第二發光單元發射將入射在物體上的光；通過使用成像器件接收由第二發光單元發射并穿過物體的光來獲得第二圖像；通過使用被設置為靠近反射器的第三發光單元以與由反射器反射的光的角度不同的角度發射將入射在物體上的光；通過使用成像器件接收由第三發光單元入射在物體上并被物體散射的光來獲得第三圖像；匹配從第一圖像至第三圖像中選擇的至少兩種圖像的坐標；從具有匹配的坐標的所述至少兩種圖像檢測缺陷并區分缺陷的類型。

所述方法還可以包括：通過使用由載物臺支撐的第六發光單元朝向物體的側表面發射光；通過使用成像器件接收由第六發光單元發射并被物體散射的光來獲得第五圖像；匹配所述至少兩種圖像的坐標和第五圖像的坐標；從具有匹配的坐標的至少三種圖像檢測缺陷并區分缺陷的類型。

所述方法還可以包括：通過使用被設置在關于載物臺與第二發光單元的方向相同的方向上的第五發光單元沿與物體垂直的方向發射光；通過使用垂直相機接收由第五發光單元發射并被物體反射的光來獲得第四圖像。