[發明專利]廢氣處理系統

在審

• 申請號: 201510086963.2
• 申請日: 2015-02-25
• 公開（公告）號: CN104667707A
• 公開（公告）日: 2015-06-03
• 發明（設計）人: 沈家敏;杜春輝;馮建煒;趙裕
• 申請（專利權）人: 蘇州工業園區納米產業技術研究院有限公司
• 主分類號: B01D53/18
• 分類號: B01D53/18;B01D53/26
• 代理公司: 蘇州市中南偉業知識產權代理事務所(普通合伙) 32257
• 代理人: 李陽

技術領域

本發明涉及一種廢氣處理系統。

背景技術

微機電(MEMS)晶片在生成過程中有一表面顆粒去除清洗工藝，該工藝中使用到的溶液的配比為NH₄OH:H₂O₂:H₂O＝1:1:6，其中氨水會揮發生成一定量的氨氣。氨氣作為一種弱堿性氣體，積存較多量存在一定的風險。因此，為減小風險，需求一套氨氣回收處理裝置。

在目前市場上比較普遍適用的氨氣處理裝置有廢棄處理系統(Local?Scrubber)，其中常用的一種廢氣處理系統采用電漿處理方式，其通過工藝機臺端的排風管將氨氣等混合氣體通過廢氣處理系統，該系統的反應腔內產生高能電漿，使得氨氣裂解并與氧氣反應，以達到去除氨氣的功能，其去除效率(DRE)在正常情況下能達到99％。

但是，現有的電漿處理方式的廢氣處理系統雖能夠提供較高的去除效率，但也存在如下不足之處:

1、環保方面：

該系統采用電漿處理使得氨氣與氧氣發生反應，以達到處理氨氣的目的，4NH₃+3O₂->2N₂+6H₂O，但高溫燃燒的同時也會生成少量氮氧化物，4NH₃+5O₂＝催化劑加熱＝4NO+6H₂O，氮氧化物中除二氧化氮以外，其他氮氧化物均極不穩定，遇光、濕或熱變成二氧化氮及一氧化氮，一氧化氮又變為二氧化氮，而氮氧化物都具有不同程度的毒性。

2、低處理能力：

目前工藝設備端的2支排風管，風速達到12m/s，風量為22標方每分鐘，總和為44標方每分鐘，此風量為排風系統最大總量。但上述類型的廢氣處理系統的處理能力一般僅有600升每分鐘，部分處理系統的處理能達到1500升每分鐘，但仍遠遠小于目前工藝設備的排風要求，這必將極大影響去除效率(DRE)。

3、價格方面：

上述廢氣處理系統在目前市場上的售價普遍為$60,000～80,000美元，約合￥360,000～490,000元，價格較高。

發明內容

本發明的目的是提供一種廢氣處理系統，其不會產生氮氧化物等光污染氣體，且成本低廉。

為了達到上述目的，本發明所采用的技術方案是：一種廢氣處理系統，用以處理含有氨氣的廢氣，包括水槽、設置在水槽一側的噴淋裝置及分別與所述水槽連接的進氣線路和排氣線路，所述水槽分為相鄰設置的噴淋區和干燥區，所述噴淋區與進氣線路連接，所述干燥區與排氣線路連接，所述噴淋裝置朝向噴淋區并向噴淋區噴射水，所述廢氣經進氣線路進入至噴淋區遇水，廢氣中氨氣溶于水中別并隨水沉入水槽，其他氣體經干燥區進入排氣線路。

進一步的，所述噴淋裝置與水槽之間設置有循環管路，所述循環管路上設置有將水槽內的液體輸送至噴淋裝置的循環動力裝置，所述廢氣處理系統還包括用以檢測水槽內的液位的水槽液位檢測計，所述水槽液位檢測計與循環動力裝置電性連接。

進一步的，所述循環動力裝置的數量為并列設置在循環管路上的兩個。

進一步的，所述水槽上設置有排水管路，所述排水管路上設置有排水動力裝置，所述排水動力裝置與水槽液位檢測計電性連接。

進一步的，所述循環動力裝置和排水動力裝置均為水泵。

進一步的，所述水槽上還設置有進水管路，所述進水管路上設置有補水閥，所述補水閥與水槽液位檢測計電性連接。

進一步的，所述廢氣處理系統還包括用以檢測水槽內液體的酸堿度的酸堿值檢測計，所述酸堿值檢測計分別與排水動力裝置、補水閥電性連接。

進一步的，所述廢氣處理系統的底部設置有防漏盤，所述廢氣處理系統還包括檢測是否有液體滴落至防漏盤的漏液檢測器及與所述漏液檢測器連接的提示裝置。

進一步的，所述噴淋區的上側和左側分別設置有噴淋裝置。

進一步的，所述水槽具有形成在水槽兩端的進氣口和出氣口，所述進氣口設置在噴淋區，所述進氣口與進氣線路連接，并通過進氣法蘭對接，所述出氣口設置在干燥區，所述出氣口與排氣線路連接，并通過出氣法蘭對接。

借由上述方案，本發明至少具有以下優點：鑒于氨氣極易溶于水的特性，本發明的廢棄處理系統將噴淋裝置朝向噴淋區，氨氣從進氣線路中進入后，通過水淋方式以去除氨氣，從而不會產生氮氧化物等光污染氣體，且成本低廉。