[發(fā)明專利]Xe介質毛細管放電檢測用極紫外光源系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510084923.4
• 申請日: 2015-02-16
• 公開（公告）號: CN104619104B
• 公開（公告）日: 2017-03-01
• 發(fā)明（設計）人: 王騏;徐強;趙永蓬
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業(yè)大學
• 主分類號: H05G2/00
• 分類號: H05G2/00;G03F7/20
• 代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標事務所23109
• 代理人: 岳昕

1.Xe介質毛細管放電檢測用極紫外光源系統(tǒng)，包括電源系統(tǒng)、放電室(1)、真空室(2)和光學收集系統(tǒng)(3)；其特征在于：

所述電源系統(tǒng)包括觸發(fā)控制單元、主脈沖電源和預脈沖電源，所述觸發(fā)控制單元的兩個觸發(fā)信號輸出端分別連接主脈沖電源的觸發(fā)信號輸入端和預脈沖電源的觸發(fā)信號輸入端；主脈沖電源包括初級充電電路、中間儲能脈沖形成電路和脈沖壓縮電路，三相交流電源通過變壓器與初級充電電路連接，初級充電電路采用交流調壓的充電電路，所述初級充電電路為中間儲能脈沖形成電路充電，中間儲能脈沖形成電路的輸出端通過變壓器將能量傳遞給脈沖壓縮電路，該脈沖壓縮電路通過磁脈沖壓縮網(wǎng)絡對脈沖進行壓縮陡化；

所述的放電室(1)包括主脈沖地電極(1-1)、預脈沖高壓電極(1-2)、共用電極(1-3)、外殼(1-4)和極紫外光源的毛細管(1-5)；所述的主脈沖地電極(1-1)為所述的極紫外光源的主脈沖電源的地電極，所述的預脈沖高壓電極(1-2)為所述的極紫外光源的預脈沖電源的高壓電極，所述共用電極(1-3)為極紫外光源的主脈沖電源的高壓電極和預脈沖電源的地電極的共用電極(1-3)；預脈沖高壓電極(1-2)、共用電極(1-3)和外殼(1-4)均為圓管狀結構，且中心軸重合；主脈沖地電極(1-1)、預脈沖高壓電極(1-2)和共用電極(1-3)的管壁的內、外表面均覆有絕緣層；主脈沖地電極(1-1)為圓環(huán)形，毛細管(1-5)嵌入在該圓環(huán)的中心孔內，主脈沖地電極(1-1)與毛細管(1-5)共同覆蓋在外殼(1-4)的開口側，且連接處密封；共用電極(1-3)位于外殼(1-4)內部，預脈沖高壓電極(1-2)位于共用電極(1-3)內部；外殼(1-4)內部還設置有冷卻系統(tǒng)，用于對預脈沖高壓電極(1-2)和共用電極(1-3)制冷；

所述的真空室(2)與放電室(1)連接，光學收集系統(tǒng)(3)位于真空室(2)內，光學收集系統(tǒng)(3)采用內嵌式Wolter?I型收集系統(tǒng)實現(xiàn)，由多層圓桶狀反射鏡構成，所述多層圓桶狀反射鏡依次共軸內嵌，每層反射鏡由一個回轉橢球面(3-1)和一個回轉雙曲面(3-2)連接而成，且該回轉橢球面(3-1)與該回轉雙曲面(3-2)具有一個公共幾何焦點，即公共焦點，各層反射鏡的公共焦點重合；

真空室(2)的末端用于連接照明系統(tǒng)，所述末端的壁上設置有窗口，毛細管(1-5)發(fā)出的極紫外光經(jīng)過光學收集系統(tǒng)(3)后聚焦在該窗口上，并通過該窗口進入照明系統(tǒng)。

2.根據(jù)權利要求1所述的Xe介質毛細管放電檢測用極紫外光源系統(tǒng)，其特征在于：所述的電源系統(tǒng)的主脈沖電源的脈沖壓縮電路采用三級脈沖壓縮方式對脈沖進行壓縮。

3.根據(jù)權利要求1所述的Xe介質毛細管放電檢測用極紫外光源系統(tǒng)，其特征在于：共用電極(1-3)的一端位于外殼(1-4)內部，另一端穿過外殼(1-4)的端面，延伸至外殼(1-4)的外部，且延伸出來的端面封閉；

預脈沖高壓電極(1-2)的一端位于共用電極(1-3)的內部，另一端穿過共用電極(1-3)的端面，延伸至共用電極(1-3)的外部，且延伸出來的端面封閉；預脈沖高壓電極(1-2)的外壁與共用電極(1-3)的內壁之間留有空隙；

共用電極(1-3)的側壁上設置有一號進水口(1-7)和一號出水口(1-8)，所述一號進水口(1-7)和一號出水口(1-8)關于共用電極(1-3)的中心軸對稱，且一號進水口(1-7)和一號出水口(1-8)均位于外殼(1-4)的外部；

預脈沖高壓電極(1-2)內部還設置有隔板(1-6)，該隔板(1-6)將預脈沖高壓電極(1-2)的內部分隔為兩個相連通的空間；預脈沖高壓電極(1-2)的側壁上開有二號進水口(1-9)和二號出水口(1-10)，所述二號進水口(1-9)和二號出水口(1-10)分別與上述兩個空間相連通，且二號進水口(1-9)和二號出水口(1-10)均位于共用電極(1-3)的外部。

4.根據(jù)權利要求1所述的Xe介質毛細管放電檢測用極紫外光源系統(tǒng)，其特征在于：所述的真空室(2)內部還設置有收集鏡支架(4)，該收集鏡支架(4)包括兩個同心金屬環(huán)和多個結構相同的支撐桿，所述兩個同心金屬環(huán)和多個支撐桿位于同一個平面內，且該平面與所述的中心軸垂直，且所述的兩個同心金屬環(huán)的圓心位于所述中心軸上，每個支撐桿的兩端分別與兩個同心金屬環(huán)固定連接，多個支撐桿以金屬環(huán)的圓心為中心，呈等間距放射狀分布，支撐桿上開有多個凹槽，對于每個支撐桿，其每個凹槽用于安裝收集系統(tǒng)的一層光學收集鏡。