[發(fā)明專利]一種用于石墨烯生長(zhǎng)的載具以及制備石墨烯的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510083393.1
• 申請(qǐng)日: 2015-02-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104609416B
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-01-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 于本文;史浩飛;徐鑫;李占成;鐘達(dá)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 重慶墨希科技有限公司;中國(guó)科學(xué)院重慶綠色智能技術(shù)研究院
• 主分類號(hào): C01B31/04
• 分類號(hào): C01B31/04
• 代理公司: 北京輕創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11212
• 代理人: 楊立

1.一種用于石墨烯生長(zhǎng)的載具，其特征在于，包括立方體框架(1)，所述立方體框架(1)的底端上設(shè)有底擋板(2)，所述立方體框架(1)相對(duì)的兩個(gè)側(cè)面的內(nèi)側(cè)上均設(shè)有側(cè)擋板(3)，兩個(gè)所述側(cè)擋板(3)相互朝向的一面上均設(shè)有若干均勻排布的側(cè)擋板槽(4)，兩個(gè)所述側(cè)擋板(3)上的所述側(cè)擋板槽(4)分別一一對(duì)應(yīng)，在所述立方體框架(1)設(shè)有所述側(cè)擋板(3)的兩個(gè)側(cè)面的頂邊上均設(shè)有若干固定槽(5)，所述立方體框架(1)的頂端設(shè)有若干橫向石英棒(6)，所述橫向石英棒(6)的兩端分別設(shè)在兩個(gè)不同側(cè)面頂邊上的所述固定槽(5)內(nèi)，相鄰的兩個(gè)所述橫向石英棒(6)之間設(shè)有碳碳復(fù)合材料薄板(7)，所述碳碳復(fù)合材料薄板的兩側(cè)邊分別設(shè)在兩個(gè)側(cè)擋板(3)的側(cè)擋板槽(4)內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于石墨烯生長(zhǎng)的載具，其特征在于，所述碳碳復(fù)合材料薄板(7)的上表面上設(shè)有若干水平設(shè)置的縱向石英棒(10)，所述縱向石英棒(10)與所述橫向石英棒(6)垂直設(shè)置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于石墨烯生長(zhǎng)的載具，其特征在于，所述側(cè)擋板槽(4)為傾斜設(shè)置的條形槽。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于石墨烯生長(zhǎng)的載具，其特征在于，所述側(cè)擋板槽(4)的傾斜角度為15度至25度。

5.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的一種用于石墨烯生長(zhǎng)的載具，其特征在于，相鄰的兩個(gè)所述側(cè)擋板槽之間的槽間距為4.5mm至6.0mm。

6.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的一種用于石墨烯生長(zhǎng)的載具，其特征在，所述側(cè)擋板槽的槽深為25mm至55mm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種用于石墨烯生長(zhǎng)的載具，其特征在于，所述碳碳復(fù)合材料薄板(7)上均勻設(shè)有若干定位槽(8)，所述縱向石英棒(10)置于所述碳碳復(fù)合材料薄板(7)的所述定位槽(8)內(nèi)。

8.一種制備石墨烯的方法，其特征在于，該方法通過(guò)使用權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的載具制備石墨烯，包括以下步驟:

步驟一，在切好的生長(zhǎng)基底(11)的上部與所述縱向石英棒(10)相對(duì)應(yīng)的位置上打固定孔(9)；

步驟二，將所述生長(zhǎng)基底(11)鋪設(shè)在所述碳碳復(fù)合材料薄板(7)上，所述縱向石英棒(10)穿過(guò)所述生長(zhǎng)基底(11)的上部的固定孔(9)后將所述縱向石英棒(10)放置在所述碳碳復(fù)合材料薄板(7)上，使得所述生長(zhǎng)基底(11)的兩側(cè)分別與所述碳碳復(fù)合材料薄板(7)的兩側(cè)置于兩個(gè)所述側(cè)擋板(3)上的同一所述側(cè)擋板槽(4)內(nèi)；

步驟三，將裝載有生長(zhǎng)基底(11)的載具放置于石墨烯生長(zhǎng)裝置中，使得載具設(shè)有側(cè)擋板(3)的一面朝向石墨烯生長(zhǎng)裝置的進(jìn)氣口，采用化學(xué)氣相沉積法沉積石墨烯薄膜；

步驟四，待石墨烯生長(zhǎng)完成后，將載具從石墨烯生長(zhǎng)裝置中取出，將所述生長(zhǎng)基底(11)從載具上取下，即得生長(zhǎng)有石墨烯的生長(zhǎng)基底(11)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種用于石墨烯生長(zhǎng)的載具，其特征在于，所述步驟一中所述生長(zhǎng)基底(11)上孔的數(shù)量為兩個(gè)或兩個(gè)以上，且與所述縱向石英棒(10)的數(shù)量相同。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種用于石墨烯生長(zhǎng)的載具，其特征在于，所述步驟二中相鄰的所述生長(zhǎng)基底(11)的頂部通過(guò)所述橫向石英棒(6)和所述碳碳復(fù)合材料薄板(7)進(jìn)行隔離。