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[發(fā)明專利]半導體裝置及其制造方法在審

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201510083377.2 申請日: 2015-02-16
公開(公告)號: CN105990426A 公開(公告)日: 2016-10-05
發(fā)明(設計)人: 小林研也;西口俊史 申請(專利權(quán))人: 株式會社東芝
主分類號: H01L29/78 分類號: H01L29/78;H01L21/336
代理公司: 中國國際貿(mào)易促進委員會專利商標事務所 11038 代理人: 陳華成
地址: 日本*** 國省代碼: 日本;JP
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 半導體 裝置 及其 制造 方法
【說明書】:
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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

3、專利數(shù)據(jù)每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

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