[發(fā)明專(zhuān)利]集成電路融和MEMS傳感器制造方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201510082377.0 | 申請(qǐng)日： | 2015-02-15 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN105984830A | 公開(kāi)（公告）日： | 2016-10-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 田曉丹 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 水木智芯科技（北京）有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | B81B7/00 | 分類(lèi)號(hào)： | B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00;B81C3/00;G01C25/00 |
| 代理公司： | 北京輕創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11212 | 代理人： | 王新生 |
| 地址： | 102206 北京市*** | 國(guó)省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 集成電路 融和 mems 傳感器 制造 方法 | ||
【說(shuō)明書(shū)】：
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