[發(fā)明專利]一種防掉落的半導(dǎo)體清洗裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201510081989.8 | 申請日： | 2015-02-15 |
| 公開（公告）號： | CN105983552B | 公開（公告）日： | 2019-12-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 吳均;程成;王暉 | 申請（專利權(quán)）人： | 盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/12 | 分類號： | B08B3/12;B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 31100 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 | 代理人： | 張振軍 |
| 地址： | 201203 上海市浦東新*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 掉落 半導(dǎo)體 清洗 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
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