[發(fā)明專利]高細(xì)分高密度光柵干涉儀有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201510080676.0 | 申請(qǐng)日: | 2015-02-15 | 
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN104613865B | 公開(kāi)(公告)日: | 2017-03-15 | 
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 韋春龍;盧炎聰;周常河 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所 | 
| 主分類號(hào): | G01B9/02 | 分類號(hào): | G01B9/02;G01D5/38 | 
| 代理公司: | 上海新天專利代理有限公司31213 | 代理人: | 張澤純,張寧展 | 
| 地址: | 201800 上海市*** | 國(guó)省代碼: | 上海;31 | 
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 | 
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 細(xì)分 高密度 光柵 干涉儀 | ||
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息,商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所,未經(jīng)中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買(mǎi)此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作,請(qǐng)聯(lián)系【客服】
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